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EUV设备
EUV设备
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近期三星为争抢EUV设备,高层频频传出密访ASML,EUV的重要性早已不言而喻。提到EUV,大家首先想到的就是ASML,ASML并不是一个家喻户晓的名字,但他却是现代技术的关键。因为它提供了制造半导体必不可少的“光刻”机器,在摩尔定律即将发展到尽头的现在,可以说,得EUV者得先进工艺。 虽然在EUV相关设备市场中,荷兰ASML垄断了核心光刻机,但在“极紫外光刻曝光”周边设备中,日本设备厂家的存在感在逐步提升,尤其在检测、感光材料涂覆、成像等相关设备方面,日本的实力也是不容忽视的。