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EUV光路
EUV光路
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当一说起芯片,很多人往往会提到光刻机。而一说起光刻机,很多人应该首先想到的就是总部位于荷兰的光刻机大厂阿斯麦(ASML),觉得阿斯麦是一家非常了不起的公司,因为台积电、英特尔、三星电子、中芯、格芯等晶圆制造大厂,无不仰赖阿斯麦的光刻机设备。特别是在行业处于领先水平的极紫外光刻机。 然而,鲜少有人知道的是,在阿斯麦的背后,却站立着一家世界上非常伟大的公司,它就是总部设在德国的卡尔蔡司。如果没有蔡司公司的光学镜头,那么阿斯麦的极紫外(EUV)光刻机便无从谈起。目前,蔡司在全球拥有最多的极紫外光刻机专利,并已成为阿斯麦的合作伙伴之一,双方之间有着十分紧密的关系。