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高密度沟槽栅MOSFET
高密度沟槽栅MOSFET
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一个沟槽金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)单元,它包含一个被一源区域围绕的沟槽栅极,而此源区域被安置在衬底底部表面上的漏极区域之上的基体区域包围着.该MOSFET单元还包含一个埋设的沟槽多晶硅栅极导路,它电接触到该沟槽MOSFET的沟槽栅极.用作栅极导路的该埋设沟槽多晶硅栅极导路,以增加栅极传输面积并增加到栅极接触金属的接触面积以降低栅极电阻.