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MEMS扫描仪
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一种MEMS扫描仪系统和方法,装置用于偏转入射激光束的系统包括一种MEMS镜(26)和一种不透明板(28),这种MEMS镜(26)可用于接收入射激光束并生成反射的激光束,这种不透明板(28)具有一种孔径(30),且这种不透明板(28)与这种MEMS镜(26)相对.这种孔径(30)的尺寸确定为允许这种入射激光束和这种反射的激光束穿过这种孔径(30).

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2021-08-16
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