美国Cymer公司
美国Cymer公司
相关文章 : 1篇
浏览 : 37次
Cymer公司是世界领先的准分子激光源提供商,发明了如今半导体制造中最关键的光蚀刻微影技术所需的深紫外光源。产品主要特性是:带宽窄,运行速度高,可靠性强。Cymer光源在批量生产符合特定规格的的世上最先进的半导体芯片时起着决定性的作用。 在1960年代,芯片制造商使用可见光做为照射光源。到了1990年代,芯片制造商则开始使用热汞气(hot mercury gas)所产生较短波长的不可见紫外线做为照射光源,这种光源波长可使芯片的电路线宽缩小到0.35微米。接着芯片制造商还希望能由紫外线再改进至具有更短波长的X射线(X-ray),但X-ray的成本仍然太高,而且很难被使用在芯片制造上。另一种可能做为芯片摄影平板技术(photolithography)的新光源是只有0.25微米波长的excimer雷射光。1997年,这项新雷射光源模块(laser module)被一家叫Cymer Inc.的新厂商正式开发出来,并被运用在芯片制程的成影设备Stepper上 。
推荐产品
列表栏目