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与非网 12 月 19 日讯，晶圆是集成电路中不可或缺的材料，在其后期制作工艺过程中需要保持高洁净度。 近日，位于北京经开区的北京京仪自动化装备技术有限公司（以下简称“京仪装备”），成功研发出国内首台晶圆自动翻转倒片机，破解了国产晶圆自动翻转倒片机自动化难题。 图源：北京亦庄 晶圆倒片机是用来调整集成电路产线上晶圆生产材料序列位置的一款设备，它的任务是将产线上的晶圆通过制程需要进行分批、合并、翻转后进行下一道程序， 这就要求晶圆倒片机拥有极高的传送效率和洁净程度。 晶圆自动翻转倒片机是一项难度极高的工艺，用力过猛容易导致晶圆表面破损，力度太小晶圆则会自动脱落，加之晶圆表面的高精密性，倒片机只能夹住晶圆的两边进行自动翻转，这就给自动翻转倒片机的研发带来了难题。