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MEMS振子
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什么是MEMS振子？
什么是MEMS振子？
MEMS振子（Micro-Electro-Mechanical Systems Oscillator）是微机电系统（MEMS）技术中的核心元件，通过微纳加工工艺在硅基底上制造出微型机械振动结构，用于实现角速度、加速度、压力等物理量的高精度测量。它是MEMS传感器（如陀螺仪、加速度计）和执行器（如谐振器、滤波器）的关键组成部分，广泛应用于消......
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2025-05-21
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