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mems气体传感器
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1、mems传感器是什么意思MEMS传感器即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems）是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。截止到2010年，全世......
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