超高分辨光学检测系统
超高分辨光学检测系统
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超高分辨,高灵敏光学检测方法与技术不仅是获取物质微观信息的重要手段,同时也是高精度光学加工,高精密3D打印等先进制造技术的基础.本文简要介绍和分析了超高分辨和高灵敏光学成像技术,亚纳米级精度光学表面检测技术,三维空间信息精确提取与精密检测技术,以及高灵敏度精细光谱实时检测技术等方向的发展历史,现状以及发展趋势,结合我国的战略需求,对"十三五"期间应重点开展的超高分辨,高灵敏光学检测方法与技术提出了建议和展望.
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