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真空组件
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所公开的主题包括与真空和真空组件有关的设备和方法.在一些方面中,方法和设备涉及一种真空组件,该真空组件包括限定排空后的真空室的本体,在真空室和本体的外部之间延伸的本体中的管道,至少部分堵塞管道的塞子,以及从本体的外部密封真空室的塞子和本体之间的密封件.

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2021-10-13
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