去胶设备
去胶设备
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去胶机利用微波等离子将氧气或者其他反应气体进行电离,形成化学活性的自由基,然后与光刻胶反应,生成可挥发的物质,被真空泵抽离腔体,从而实现光刻胶刻蚀和去除的功能
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