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压电式麦克风
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本发明公开了一种压电式麦克风,包括:衬底;设置在所述衬底上的压电振膜,所述压电振膜与所述衬底之间形成有悬空腔;设置在所述悬空腔下方的声孔,所述声孔纵向贯穿所述衬底,且所述声孔的横截面积小于所述压电振膜的横截面积;所述压电振膜包括至少两个谐振频率不同的组成部分.本发明实施例提供的压电式麦克风的压电振膜包括至少两个谐振频率不同的组成部分,整个振膜具有不同的谐振频率,可以改善麦克风的频谱,增大带宽.

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射频滤波... 压电式麦... 超声传感...
2021-08-17
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