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薄膜沉积设备
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本发明提供了一种APF薄膜沉积设备以及APF薄膜沉积通气方法.本发明的APF薄膜沉积设备包括:供气钢瓶,冷凝管以及气体板;其中,供气钢瓶中包含乙炔和丙酮,而且供气钢瓶经由冷凝管向气体板通入气体.在本发明中,利用包含乙炔和丙酮的供气钢瓶经由冷凝管向气体板供气,其中冷凝管过滤掉被挥发出来丙酮蒸汽,使得经由冷凝管进入气体板的气体的乙炔纯度相对于供气钢瓶更高.

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