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微型机器人电子失能系统是一种特定的MEMS，它具有六个部分，包括传感器系统、信息处理与自主导系统、机动系统、破坏系统和驱动电源。这种MEMS具有一定的自主能力，并拥有初步的机动能力，当需要攻击敌方的电子系统时，无人驾驶飞机就投放这些MEMS。其中的一种方案是利用昆虫作为平台，通过刺激昆虫的神经来控制昆虫完成接近目标的过程。通过这样的MEMS可以无声无息地破坏敌方的主要目标，有相当的战略意义。

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