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流量控制器
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质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。

质量流量控制器的工作原理、应用领域、设计要点和发展趋势
质量流量控制器的工作原理、应用领域、设计要点和发展趋势
摘要：本文主要介绍了质量流量控制器的工作原理、应用领域、设计要点和发展趋势。首先，通过对质量流量控制器的定义和基本原理进行阐述，详细介绍了其在液体和气体流动中的应用。然后，从传感器选择、信号处理、控制算法等方面分析了质量流量控制器的设计要点，并提出了一些优化策略。最后，展望了质量流量控制器在智能化、网络化方向上的发展趋势。1、工作原理质量......
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