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光片镀膜
光片镀膜
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在探测器制造加工工艺中,很多都涉及清洗技术,如芯片制作期间的基片清洗,外延生长片的清洗,镀膜加工前基片的清洗,以及滤光片等光学元件加工的清洗等。随着科技的发展,半导体器件的生产对清洁度的要求越来越高。也不断有复杂的新洗净系统和设备投入使用。在光学仪器、精密机械以及电子机械领域也越来越多地需要精密工业清洗。无论是半导体薄膜的生长还是基于半导体薄膜的器件制备,衬底的清洗和处理是必不可少的一个环节。