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本发明公开了一种制备超高纯铝及超高纯铝合金溅射靶材的方法，包括以下步骤：将材料在200℃～500℃，保温24～48小时空冷至室温；铸锭放入椭圆形模具中，沿X方向进行锻压，变形量达到20%～40%；将铸锭放入圆形模具中，沿Y方向进行锻压，变形量达到20%～40%；将铸锭从模具中取出，沿Z方向进行锻压，变形量达到70%；将锻压后的铸锭在200～400℃条件下进行退火处理；将锻压成板材在室温下进行8～20道次轧制，每道次扎下量不低于25%，X方向与Y方向交替轧制；在200～400℃条件下进行退火处理，既消除了内应力，并将材料晶粒细化至200μm以下。运用本方法制作的超高纯铝靶材，晶粒细小均匀，织构稳定，并且成材率高，易于操作，便于大规模工业化生产。