您现在的位置： 首页 > 标签 > 静电吸盘
静电吸盘
静电吸盘
相关文章 : 1篇 浏览 : 15次

ETCH过程中，wafer需要固定在chamber底部，早期的wafer是靠物理方法固定，即机械夹具，后来随着制程的不断进步，渐渐被静电吸盘（ESC:Electro-Static-Chuck)替代，同时ESC还作为下电极。 静电吸盘的基本原理是异向电荷之间相互吸引，即wafer与electron之间通过不同种电荷之间的库仑力相互吸引，使wafer稳定在电极上。从结构上可分为:单极型和双极型，从静电吸盘材料上可分为库仑力型和迥斯热背型。 单极型静电吸盘,wafer从plasma中获取电荷，电极通电产生异向电荷，从而产生吸附。

XP Power推出新款稳压高压DC－DC转换器系列，可用于半导体和探测器应用
XP Power推出新款稳压高压DC－DC转换器系列，可用于半导体和探测器应用
XP Power推出的新款稳压高压DC-DC转换器系列，特别是HRC05系列，确实是为半导体和探测器应用等高压集成需求而设计的。以下是对该系列转换器的详细介绍：一、产品概述XP Power正式推出的5W稳压高压DC-DC转换器HRC05系列，可在一个小的封装中提供高达6kVDC的完全可调和可靠的输出电压。该系列的模块为从事高压集成的研发工......
DC-D... 静电吸盘 探测器
2021-05-07
15
推荐产品
系统默认图标
C0276AANAB
品牌:BULGIN
类别：面板指示器/指示灯
0807SQ-14NJLB
0807SQ-14NJLB
品牌:COILCRAFT
类别：固定电感器
25SVPF82M
25SVPF82M
品牌:PANASONIC
类别：电解电容
PH75S48-5
PH75S48-5
品牌:TDK-LAMBDA
类别：直流-直流转换器
MMZ0603D470ET000
MMZ0603D470ET000
品牌:TDK
类别：其他滤波器
列表栏目
基于STM32F103VET6+AD603+TSC2046的多路电压采集的设计与实现方案
工业控制
基于STM32F103VET6+AD60...
最简单DIY基于ESP8266的智能彩灯⑦（原理图+源码+教程+库）
消费电子
最简单DIY基于ESP8266的智能彩灯...
基于XL6019+LM358的升压恒流输出驱动LED方案
LED应用
基于XL6019+LM358的升压恒流输...
基于ESP8266的赛车仪表板（示意图+代码）
汽车电子
基于ESP8266的赛车仪表板（示意图+...
基于Nordic nRF52840无线键盘、鼠标物联网解决方案
消费电子
基于Nordic nRF52840无线键...
相关标签
深圳国际... ICZO... ELEX... 五一劳动... USB控... 以太网 放假通知 EIC 分立器件 继电器 上继电器 晶扬 云母电容... 云母电容... 云母电容 XCKU... 硬件加速... Xili... 开关三极... 1300...