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半导体虚拟
半导体虚拟
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“要长出高质量的碳化硅(SiC),我们需要对生产工艺进行设计、调试和优化。”晶体材料国家重点实验室教授陈秀芳带领的课题组有一项重要任务——通过物理气相沉积法生长出高质量、大尺寸的SiC单晶材料。   “但实际的生长耗时、耗料,可能也不稳定,通过计算机模拟‘虚拟生长’过程,可提前获知温度、生长速率等信息,”陈秀芳说。这个方法就像“战争推演系统”和实打实地实战一样奏效。