薄膜片式排阻
薄膜片式排阻
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现阶段,片式排阻多为厚膜排阻,部分采用薄膜排阻,但厚膜电阻稳定性差,而薄膜电阻精度较高、稳定性较好,被应用在精密设备上;然而,现阶段薄膜排阻元件对光刻掩膜需求较高,要根据电极、电阻留边对应做出干膜贴合,普通贴膜工艺难以获得覆盖全面的溅射图形,且排阻基片中的通孔也难以通过贴膜方式完整覆盖。现有的薄膜排阻由于排阻基片中的通孔设计,传统的印刷工艺形成的薄膜溅射掩膜遮蔽层,无法有效覆盖排阻基片通孔内壁,从而造成因掩膜缺失而溅射错位的情况
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