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如何进行MEMS设计?如何降低MEMS设计难度?
如何进行MEMS设计?如何降低MEMS设计难度?
进行MEMS（微机电系统）设计需要综合运用多学科知识，并结合特定工艺和设计工具。以下是MEMS设计的一般流程及降低设计难度的方法：一、MEMS设计流程需求分析与规格定义明确MEMS器件的功能需求（如传感器类型、测量范围、精度等）和性能指标（如灵敏度、功耗、尺寸等）。系统建模与仿真利用多物理场仿真软件（如COMSOL Multiphysic......
如何进行... MEMS... MEMS
2020-11-12
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