原标题：国内首台关键尺寸量测设备出机中芯国际，面向 300mm（12 英寸）硅片工艺制程

国内首台关键尺寸量测设备（CD-SEM）已成功出机给中芯国际，这台设备面向300mm（12英寸）硅片工艺制程，具有里程碑式的意义。以下是对该事件的详细分析：

一、设备详情

• 型号：SEpA-c410

• 制造商：东方晶源

• 面向工艺制程：300mm（12英寸）硅片工艺制程

• 技术特点：通过先进的电子束成像系统和高速硅片传输方案，搭配精准的量测算法，可实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。

二、合作背景与意义

• 合作双方：东方晶源与中芯国际

• 合作意义：

• 对于东方晶源来说，此次合作标志着其在芯片制造关键环节的良率控制和提升领域取得了重大技术突破，填补了国产关键尺寸量测设备的市场空白。这有助于东方晶源进一步打开国内市场，提高营收，并促进产业链条的调整、升级和完善。

• 对于中芯国际来说，获得国内首台关键尺寸量测设备有助于其实现技术去美化，缓解在芯片制造过程中被国外技术“卡脖子”的压力。同时，这也将提升中芯国际在芯片制造领域的竞争力，为其生产高良品率的芯片提供有力支持。

• 对于我国半导体行业来说，东方晶源成功打破技术瓶颈，制备出国内首台关键尺寸测量设备，弥补了我国在芯片代工检测环节中的空白，为国产半导体供给链增添了一份力量。

三、设备应用与影响

• 应用环节：关键尺寸量测设备在芯片制造过程中起着至关重要的作用。它能够对有效制程效力范围内的各项环节进行工艺评定，如薄膜厚度是否符合制程标准、芯片在完成刻蚀流程环节后是否会影响硅片电性参数等。

• 影响：

• 提升芯片制造良率：通过精准的关键尺寸量测，可以及时发现并纠正制造过程中的问题，从而提升芯片制造的良率。

• 促进技术创新与产业升级：东方晶源的成功经验将激励更多国内企业投入研发，推动半导体制造技术的创新与产业升级。

• 增强国际竞争力：随着国产关键尺寸量测设备的不断成熟和完善，我国半导体行业在国际市场上的竞争力将得到进一步提升。

综上所述，国内首台关键尺寸量测设备出机中芯国际是半导体制造领域的一项重要里程碑事件。它不仅标志着我国在芯片制造关键环节的技术突破和产业升级，还将为中芯国际等国内芯片制造商提供有力支持，推动我国半导体行业在国际市场上取得更大的成功。