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赛默飞Talos F200E 扫描透射电子显微镜提供原子级成像和快速EDS分析

来源: 中电网
2021-03-18
类别:业界动态
eye 32
文章创建人 拍明

原标题:赛默飞Talos F200E 扫描透射电子显微镜提供原子级成像和快速EDS分析

赛默飞Talos F200E扫描透射电子显微镜(STEM)是一款高性能的显微镜,它提供了原子级成像和快速的能量色散X射线能谱(EDS)分析功能。以下是对该显微镜的详细介绍:

一、产品特点

  1. 原子级成像

    • Talos F200E STEM能够提供具有极小失真的高分辨率STEM和TEM(透射电子显微镜)成像。

    • 其分辨率极高,STEM分辨率≤0.16nm,TEM信息限度≤0.12nm,TEM线分辨率≤0.10nm,使得用户能够观察到原子级别的细节。

  2. 快速EDS分析

    • 该显微镜配备了先进的EDS系统,能够进行快速的化学成分分析。

    • 与先前的Talos模型相比,Talos F200E提供了>1.5倍的快速EDS分析速度。

    • 高通量的EDS功能使得用户能够在更短的时间内获得准确的化学成分信息。

  3. 高稳定性与重复性

    • Talos F200E STEM具有自动校准的属性,能够控制图像畸变≤1%,确保用户获得快速、可靠和可重复的结果。

    • 这种高稳定性和重复性对于半导体和其他微电子设备的分析至关重要。

  4. 易用性与成本效益

    • Talos F200E STEM设计得既易于使用又具有成本效益,帮助半导体实验室实现快速的样品表征。

    • 它支持多信号检测和对比度优化的STEM成像,以及标本-载物台同步实时TEM图像旋转等功能,使得操作更加便捷。

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二、应用领域

Talos F200E STEM专为多种半导体缺陷分析和研究应用而设计,适用于可重复、高容量的多种半导体和微电子设备分析。它支持快节奏的工艺开发和良率提升,使得半导体分析实验室能够显著应变。此外,它还可以用于材料科学、纳米技术、生物医学等领域的研究和分析。

三、技术规格

  • 加速电压:200kV

  • 探测器:配置有Dual-X EDS探测器,提供更高的灵敏度和分析速度。

  • 相机:具有低失真的4k×4k Ceta-M相机,提供高分辨率成像。

  • 物镜:X-FEG物镜,具有卓越的成像性能和灵活性。

  • 软件:配备有直观的Velox软件用户界面,使得操作更加简单方便。

综上所述,赛默飞Talos F200E扫描透射电子显微镜是一款高性能、易用且具有成本效益的显微镜,它提供了原子级成像和快速的EDS分析功能,适用于多种半导体和微电子设备的研究和分析。


责任编辑:David

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