原标题：英诺赛科与ASML签署合作协议，将批量购买高产能i－line和KrF光刻机

英诺赛科与ASML签署合作协议，批量购买高产能i-line和KrF光刻机，这一合作对双方都具有重要意义。以下是对该事件的详细分析：

一、合作背景

1. 英诺赛科简介：

• 英诺赛科科技有限公司成立于2015年12月，是一家致力于第三代半导体硅基氮化镓芯片制造的企业。

• 公司成功建成投产全球首条200mm硅基氮化镓晶圆与功率器件量产生产线，主要产品包括200mm硅基氮化镓晶圆及30V-650V氮化镓功率器件。

2. ASML简介：

• ASML是全球芯片制造设备领导厂商，其生产的XT400和XT860的i-line和KrF光刻机经过升级，能够在硅基晶圆上制造氮化镓功率器件。

• ASML的i-line和KrF光刻机凭借其独特的TWINSCAN（双工件台）架构，能提供最卓越的性能、市场上最高的生产效率以及最低的成本。

二、合作协议内容

1. 合作目的：

• 英诺赛科与ASML签署合作协议，旨在批量购买高产能的i-line和KrF光刻机，用于制造先进的硅基氮化镓功率器件。

2. 合作时间：

• 该合作协议在2021年1月21日正式签署。

3. 合作成果：

• 英诺赛科在2021年第二季度成功搬入首批光刻机，并实现了试生产和正式量产。

• 这一合作标志着第三代半导体制造技术正式进入了一个全新的纪元，英诺赛科成为全球首家在200mm晶圆生产线上应用ASML TWINSCAN（双工件台）光刻技术的企业。

  

三、合作意义

1. 对英诺赛科的意义：

• 提升了英诺赛科的生产效率和产品质量，加快了产品推向市场的速度。

• 助力英诺赛科在氮化镓半导体行业中的蓬勃发展，提高了其市场竞争力。

2. 对ASML的意义：

• 扩大了ASML在硅基氮化镓市场的份额，展示了其光刻机在第三代半导体制造中的优势。

• 增强了ASML与中国企业的合作关系，为其在中国市场的发展奠定了坚实基础。

四、未来展望

1. 英诺赛科的发展：

• 英诺赛科将继续致力于第三代半导体硅基氮化镓芯片的研发和生产，扩大产能和产品线。

• 预计英诺赛科在全球氮化镓厂商中的市占率将持续攀升，有望成为全球领先的氮化镓芯片制造商之一。

2. ASML的发展：

• ASML将继续投入研发和创新，提升光刻机的性能和效率。

• ASML将加强与全球芯片制造商的合作，共同推动半导体产业的发展。

综上所述，英诺赛科与ASML签署合作协议并批量购买高产能i-line和KrF光刻机，对双方都具有重要意义。这一合作不仅提升了英诺赛科的生产效率和产品质量，也扩大了ASML在硅基氮化镓市场的份额。未来，双方将继续携手共进，共同推动半导体产业的发展。