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你足够了解晶圆吗?晶圆和硅片有何区别?

来源: 21ic
2020-12-31
类别:基础知识
eye 43
文章创建人 拍明

原标题:你足够了解晶圆吗?晶圆和硅片有何区别?

对于晶圆和硅片的区别,可以从以下几个方面进行阐述:

一、定义与范围

  1. 硅片:硅片是由高纯结晶硅为材料制造的圆片,一般作为集成电路和半导体器件的载体。它是由成形的硅晶片制成,具体来说,是从硅晶体拉曼光谱的硅晶片制成的。

  2. 晶圆:晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆。在半导体工艺中,晶圆所指范围可以更广,它通常指的是经过一系列半导体制造工艺处理后的硅片,这些工艺可能包括掺杂、光刻、蚀刻等步骤,用以形成晶体管和其他电子元件。此外,晶圆既可以指代以硅元素为构成的硅片,也可以指代化合物半导体如砷化镓、碳化硅等构成的基体薄片。

二、材料与工艺

  1. 材料

    • 硅片:由成形的硅晶片制成,主要材料是高纯度的结晶硅。

    • 晶圆:虽然主要以硅为材料,但也可以是化合物半导体材料,如砷化镓、碳化硅等。在半导体领域,晶圆通常采用高纯度的多晶硅经过一系列复杂工艺制成单晶硅,再切片得到。

  2. 工艺

    • 硅片:制作工艺要求非常细致,必须经过磨镶、切割、结构开孔、钎焊等多步复杂工艺,才能发挥出硅片的最佳性能。

    • 晶圆:制作工艺相对硅片来说可能包含更多的半导体制造工艺步骤,如掺杂、光刻、蚀刻等,用以形成晶体管和其他电子元件。这些步骤使得晶圆上的电路结构更加复杂和精细。

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三、尺寸与厚度

  1. 尺寸:硅片的尺寸通常不会太大,一般不会超过400毫米。而晶圆的尺寸则根据其用途和制造工艺的不同而有所变化,但通常也是圆形的,且尺寸可能因工艺需求而有所调整。

  2. 厚度:硅片普遍较厚,一般厚度介于0.2毫米至2毫米之间。而晶圆的厚度则相对较薄,通常介于0.025毫米到0.2毫米之间,可根据需要将厚度进行调节。这种厚度的差异使得晶圆在半导体制造中具有更高的灵活性和适应性。

四、功能与应用

  1. 功能:硅片是一个通用型产品,其功能性能较低,只能满足基本的功能特性。而晶圆则经过一系列复杂的半导体制造工艺处理后,具有更高的功能性能和集成度,可以满足复杂电路的要求,基本可以满足所有的智能电子产品。

  2. 应用:硅片主要用于半导体和光伏两大领域。而晶圆则主要应用于半导体集成电路的制造,是制造CPU等高性能电子元件的关键材料。此外,晶圆还可以应用于其他领域,如化合物半导体材料的制造等。

五、其他性能

  1. 耐温特性:硅片的耐温特性一般较好,可以耐受温度高达150°C。而晶圆的耐温特性则相对较低,温度上升到100°C就可能引起电性能的偏移。因此,晶圆在热稳定性方面需要更加注意。

  2. 可靠性:晶圆具有很好的可靠性,不容易发生故障,而且能够耐热和耐寒,多年来一直被广泛应用。

综上所述,晶圆和硅片在定义与范围、材料与工艺、尺寸与厚度、功能与应用以及其他性能等方面都存在显著的差异。这些差异使得它们在半导体制造中具有不同的应用场景和优势。


责任编辑:David

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标签: 晶圆 硅片

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