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射频控制系统
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本发明提供一种射频控制系统.RF电源系统用于将RF功率周期性传输至负载.功率放大器将RF信号输出至该负载.传感器测量提供至该负载的RF信号并输出根据该RF信号而改变的信号.第一反馈回路能够基于由传感器的输出确定的功率来控制该RF信号.第二反馈回路能够基于由传感器输出的信号测量的能量来控制该RF信号.能量振幅和持续时间提供用于改变该RF信号的控制值.控制系统和技术方案适用于脉冲RF电源和各种连续波电源实例.

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射频控制...
2021-09-14
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