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微位移控制系统
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本发明公开了压电位移器领域内的一种压电微位移器驱动控制系统,包括由控制器,功率放大器以及位移测量设备组成的驱动系统,控制器的信号输出端与功率放大器的信号输入端相连,功率放大器的信号输出端与被控电压微位移机构的信号输入端相连,被控电压微位移机构的信号输出端与位移测量设备的信号输入端相连,位移测量设备的信号输出端经低通滤波器控制器的信号输入端反馈连接,本发明结构简单,体积小,制造成本低廉,且精度较高,可用于测量精度需求较高的场合中.

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