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MMA2204D
MMA2204D
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MMA2204D加速计是一种表面微机械化的集成电路加速计。该芯片含有一个表面微机械化的电容测量单元(g—cell)和一个CMOS单调节应用型专用集成电路,其中g-cell是一种半导体机械结构。MMA2204D加速计内部有一个多晶体硅惯性块。它悬挂在两块固定的多晶体极之间,加速度的作用是使该惯性块移动,从而使电容发生变化,然后再把电容转化成电压输出。为了避免机械冲击,该加速计还装有阻尼和超量程制动机构。此外 MMA2204D还具有滤波、自检和状态输出功能。