差动式电容传感器的测量范围和精度因具体型号和应用场景而异，但一般来说，其测量范围广泛且精度较高。以下是对差动式电容传感器测量范围和精度的详细分析：

一、测量范围

差动式电容传感器的测量范围通常较大，可以覆盖从小位移到较大位移的多种应用场景。具体来说：

1. 小位移测量：差动式电容传感器在测量微小位移方面具有优势，量程可达数十微米至数百微米，精度可达微米级。这使得它在精密测量场合，如精密轴系回转精度测量、高频振动振幅测量等方面表现出色。

2. 大位移测量：对于需要测量较大位移的场合，差动式电容传感器同样具有广泛的应用。其测量范围可覆盖数十毫米至几米，具体取决于传感器的设计和制造。这使得它在工业自动化、机械制造等领域中具有广泛的应用价值。

二、精度

差动式电容传感器的精度通常较高，能够满足多种高精度测量需求。以下是影响其精度的主要因素：

1. 非线性误差：差动式电容传感器通过双电容变化量实现测量，这种结构有助于减小非线性误差，从而提高测量精度。

2. 温度影响：差动式电容传感器对温度变化较为敏感，但现代传感器设计中通常采用温度补偿技术来减小这种影响，确保测量结果的稳定性。

3. 静电引力影响：差动式电容传感器的工作原理涉及到电容极板之间的静电引力，这种引力可能会对测量结果产生一定影响。然而，通过优化设计，可以减小静电引力对测量的干扰，从而提高精度。

在实际应用中，差动式电容传感器的精度通常受到多种因素的共同影响。因此，在选择和使用传感器时，需要根据具体应用场景和需求进行综合考虑，以确保测量结果的准确性和可靠性。

综上所述，差动式电容传感器具有广泛的测量范围和较高的精度，能够满足多种高精度测量需求。在选择和使用时，应根据具体应用场景和需求进行综合考虑，以确保传感器的性能得到充分发挥。