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进博会ASML:光刻未来,携手同行

来源: 中电网
2020-11-09
类别:业界动态
eye 25
文章创建人 拍明

原标题:进博会 ASML:光刻未来,携手同行

自2018年首次参展以来,ASML已连续多年亮相中国国际进口博览会(进博会),以“光刻未来,携手同行”为主题,通过全景光刻解决方案展示其在半导体行业的创新实力与技术突破。

核心展示内容

  1. 全景光刻解决方案
    ASML融合光刻机台、计算光刻及量测技术,形成覆盖芯片制造全流程的“铁三角”业务模式。通过交互式数字化展示,观众可直观了解光刻机如何将电路图案精准投影至晶圆,以及计算光刻与量测技术如何协同优化芯片良率。

  2. 前沿产品矩阵

    • NXT系列DUV光刻机:如NXT:1470、NXT:870等机型,采用磁浮平台技术,显著提升产能并降低单位成本。

    • XT:260 i-line光刻系统:基于双工作台技术,支持先进封装及主流芯片制造,提升性能并降低单片成本。

    • eScan 1100电子束量测设备:实现晶圆缺陷在线检测,吞吐量较单束系统提升10倍以上。

    • 计算光刻业务:通过优化光源与掩模板设计,助力客户实现更高良率。

  3. 沉浸式体验与互动
    展台设置虚拟晶圆厂、光刻机“开箱”视频及H5虚拟课堂等互动环节,观众可近距离感受光刻机内部构造,并通过AI生成内容(AIGC)技术,体验ASML技术演进历程。

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战略布局与行业贡献

  • 深耕中国市场
    自1988年交付首台步进式光刻机以来,ASML已在中国市场深耕30余年,设立16个办事处、12个仓储物流中心及3个开发中心,员工总数超1600人。

  • 技术创新与人才培养
    ASML深圳和武汉研发团队开发的新版计算光刻产品,已成功导入客户应用,助力提升行业良率。公司秉承“3C”企业文化(Challenge挑战、Collaborate合作、Care关爱),推动半导体行业技术突破。

  • 推动全球合作
    ASML通过进博会平台,与全行业及跨领域伙伴深化交流,共同探索技术边界,助力半导体产业可持续发展。

未来展望

面对全球半导体市场的周期性波动,ASML预计2025年行业将迎来需求反弹,并计划通过产能爬升满足市场需求。公司将继续在合规合法的前提下,为中国客户提供成熟制程领域的技术支持,助力中国半导体产业高质量发展。

ASML在进博会的持续亮相,不仅展现了其在光刻技术领域的领导地位,更彰显了其以开放合作推动行业共赢的坚定承诺。


责任编辑:David

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标签: ASML

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