您提到的“MM香表面波滤波器”可能是指“MHz声表面波滤波器”的误写。MHz声表面波滤波器（SAW Filter）的组成部分除了之前提到的叉指换能器（IDT）、压电基片、封装与外壳等关键元件外，还可以进一步细化并包含以下其他组成部分：

一、反射栅

• 作用：反射栅是声表面波滤波器中的一个重要结构，它通常由一系列与声波波长相关的周期性结构（如刻槽或金属条）组成。反射栅位于压电基片上的特定位置，用于将声波在特定频率上反射回滤波器区域，从而增强或抑制这些频率的信号。

• 效果：通过精心设计反射栅的位置和间距，可以实现滤波器的选频特性，包括通带、阻带和过渡带。这有助于滤波器更精确地筛选和放大所需频率的信号。

二、输入输出端

• 功能：输入端用于接收来自前级电路的电信号，并将其转换为机械振动信号（声信号）。输出端则用于接收压电基片上传来的机械振动信号，并将其转换为电信号输出到后级电路。

• 设计：输入和输出端的设计决定了滤波器的频率响应和带宽。通过调整输入和输出端的结构参数，可以优化滤波器的性能，以满足不同应用场合的需求。

三、金属膜与光刻胶层

• 金属膜：在压电基片表面沉积一层金属膜（通常为铝或金），作为后续工艺中的导电层和基础层。这层金属膜在叉指换能器的制作过程中起到关键作用。

• 光刻胶层：在金属膜上涂覆一层光刻胶，并通过光刻工艺将掩模上的图形和路线精确地投影在光刻胶上。然后，通过显影处理去除曝光区（或未曝光区）的光刻胶，形成金属盘孔、通过孔和声表面波引出口（即叉指换能器的电极）等结构。

四、电极与连接点

• 电极：叉指换能器的电极由交替排列的金属指条组成，这些指条沉积在压电基片的表面上。电极间的间隙形成电场，用于激励和检测声表面波。

• 连接点：在滤波器的封装过程中，需要为电极提供与外部电路的连接点。这些连接点通常通过引线或焊盘与封装管座的引脚相连，以确保电信号的畅通传输。

五、其他辅助结构与材料

• 吸声层：在某些滤波器设计中，可能会包含一层吸声材料，用于吸收不需要的声波，减少干扰和噪声。

• 保护层：为了保护滤波器内部的脆弱结构，通常会在滤波器表面涂覆一层保护层，以提高其抗磨损和抗腐蚀能力。

综上所述，MHz声表面波滤波器的组成部分包括叉指换能器、压电基片、反射栅、输入输出端、金属膜与光刻胶层、电极与连接点以及其他辅助结构与材料。这些组成部分共同协作，实现了对特定频率信号的筛选和放大功能，满足了现代电子系统对高性能、高可靠性和小型化的需求。