原标题：Sensirion SFM5x 质量流量计

　　Sensirion SFM5x 质量流量计是高精度传感器，具有不同的校准和流量范围，从 100slm 到 50sccm 满量程。Sensirion SFM5x 质量流量计提供接头选项，例如世伟洛克或向下安装，并具有数字/模拟接口。这些质量流量计采用 Sensirion CMOSens® 技术，该技术将高精度传感器元件与最先进的信号处理技术结合在一个芯片上。

　　特征

　　100slm 至 50sccm 满量程流量范围

　　出色的准确度和可重复性(分别为设定值的 0.8%/0.1%)

　　<0.1% 至 100% 满量程控制和测量范围

　　G ¼" 法兰与各种连接器兼容，包括世伟洛克、乐可利、费斯托

　　校准多种气体(空气、N 2、O 2、H 2、He、CH 4、N 2 O、Ar、CO 2)

　　带温度补偿输出的数字接口

　　<100ms 稳定时间

　　高达 10bar 的耐压性

　　169 年平均无故障时间 (MTBF)

　　现场无需漂移和重新校准

　　NIST 可溯源校准

　　应用

　　分析仪器

　　涂装/蚀刻设备

　　医疗器材

　　过程自动化

　　气体混合