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Advanced Energy 的10kW电源配备先进脉冲功能,让生产商可充分利用极度精确和可客制的等离子电源控制功能

来源: 中电网
2021-12-10
类别:新品快报
eye 7
文章创建人 拍明

原标题:Advanced Energy 的10kW电源配备先进脉冲功能,让生产商可充分利用极度精确和可客制的等离子电源控制功能

Advanced Energy 的10kW电源配备先进脉冲功能,确实为生产商提供了极度精确和可客制的等离子电源控制功能。以下是关于这款电源的详细介绍:

一、产品概述

Advanced Energy(纳斯达克:AEIS)一直致力于开发各种先进的高精度电源转换、测量和控制系统等解决方案,技术领先全球。该公司推出的10kW脉冲直流电源(Ascent® SMS AP)不仅配备了领先业界的电源和控制功能,还预装了PowerInsight by Advanced Energy™这套嵌入式制程工艺优化程序,进一步提升了其在工业应用中的表现。

二、主要特点

  1. 先进脉冲功能

    • 这款Ascent® SMS AP电源配备了已注册专利的脉冲技术,成功将优化的电弧管理和精确的等离子电源控制功能引进到技术要求极为严格的薄膜沉积应用中,包括半导体和太阳能光伏电池生产等方面。

    • 输出的先进脉冲(AP)波形可以支持升压、反向电压控制以及先进脉冲整形等功能,以便因应薄膜型态和要求的薄膜特性实现波形的微调。

  2. 高性能电弧管理

    • 电源的渐进式电弧管理系统共有4个不同的单元,可支持全范围反向电压操作,是目前业界极为先进的电源解决方案。

    • 所存储的电弧能量最少,而且所提供的电弧参数均可自我调节,让有关参数可以按照制程工艺步伐灵活调节。

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  1. 宽广的安全工作区(SOA)

    • 电源外型小巧,但安全工作区范围极为宽广,例如峰值电压高达1200V,频率则介于0.5至150kHz之间。

  2. 制程工艺特性分析功能

    • 内置的PowerInsight制程工艺优化程序可搜集、分析和转译来自关键馈电系统的资料,帮助用户优化制程工艺,以提升产量和生产良率,并减少无法预测的制程工艺设备故障停机时间。

  3. 可定制性和灵活性

    • 电源具有高度配置的波形、宽广的频率范围以及可定制的控制功能,使得生产商能够根据不同应用需求进行灵活配置和优化。

三、应用场景

这款10kW Ascent SMS AP电源适用于多种工业应用,特别是在对电源控制精度和稳定性要求极高的半导体制造、薄膜沉积、太阳能光伏电池生产等领域中展现出卓越的性能。

四、市场反响

Advanced Energy等离子电源产品高级市场营销总监Dhaval Dhayatkar表示,这款全新的10kW Ascent SMS AP电源充分利用了Advanced Energy的许多尖端技术,旨在提升客户在先进半导体制程工艺中的精准度、可重复性和生产良率。这一产品的推出进一步巩固了Advanced Energy在高精度电源解决方案领域的市场地位。

综上所述,Advanced Energy的10kW脉冲直流电源凭借其先进脉冲功能、高性能电弧管理、宽广的安全工作区以及制程工艺特性分析功能等优势,在生产商中获得了广泛认可和应用。


责任编辑:David

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