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中欣晶圆:连续成功拉制12寸450公斤投料晶棒,量产可期

来源: 中电网
2021-09-17
类别:业界动态
eye 25
文章创建人 拍明

原标题:中欣晶圆:连续成功拉制12寸450公斤投料晶棒,量产可期

中欣晶圆在半导体材料领域取得了重大突破,成功连续拉制出12寸450公斤投料晶棒,这一成就标志着其量产计划已具备坚实基础,量产前景可期。以下是对此事件的详细分析:

一、技术突破与成果展示

  • 成功拉制:2021年8月17日,中欣晶圆研发团队成功拉制出首根12寸450公斤投料晶棒。该晶棒净重437.7公斤,体长2900mm,身长2400mm,良率达到87.6%,相较于之前300公斤投料量时的良率提高了4.6个百分点。紧接着,在同年9月5日,公司再次成功拉制出第二根同规格的投料晶棒,参数指标与首根晶棒几乎一致,这标志着中欣晶圆已经具备了标准化量产12寸450公斤投料晶棒的技术和工艺水平。

  • 技术难度:在晶棒拉制过程中,投料量越多对工艺、单晶炉台控制精度等方面的要求就越高。由于32寸石英坩埚一次性最多能装340公斤的多晶硅料,因此投料量增加至450公斤必须采用二次投料技术来实现。中欣晶圆研发团队在前期8寸二次投料技术的基础上,针对12寸单晶炉结构进行了优化设计,并成功配套使用了二次投料工装,从而实现了大质量晶棒的连续拉制。

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二、量产计划与产能提升

  • 产能现状:中欣晶圆是国内少数能量产12英寸大硅片的半导体材料企业之一,目前具备6英寸及以下40万片/月、8英寸45万片/月、12英寸10万片/月的产能。公司计划在2022年将12英寸硅片的月产能提升至20万片,以满足市场对高端半导体材料的需求。

  • 量产前景:大质量晶棒的拉制成功不仅提升了中欣晶圆的月产量,还提高了单根晶棒的可利用率和12寸硅片的良率与稳定性。在直径相同的情况下,大质量晶棒意味着长度的增加,从而减少了头料和尾料的浪费,提升了晶棒的整体利用率。此外,投料量的增加也使得在相同价格的石英坩埚及辅材下产出更多产品,降低了生产成本。这些因素共同为中欣晶圆的量产计划奠定了坚实基础。

三、市场影响与战略意义

  • 市场影响:在全球半导体材料市场中,中欣晶圆的这一技术突破无疑将提升其市场地位和竞争力。随着全球半导体产业的快速发展和国产替代趋势的加强,中欣晶圆有望凭借其在12英寸大硅片领域的领先技术和产能优势占据更多市场份额。

  • 战略意义:中欣晶圆坚持面向国家半导体行业的重大战略需求,以发展中国半导体材料为己任。在技术上勇于突破、不断创新,为大硅片国产化做出了重要贡献。同时,公司还积极向国内外客户供应高品质的正片产品,助力全球半导体产业的发展。

综上所述,中欣晶圆连续成功拉制12寸450公斤投料晶棒是其技术实力和量产能力的集中体现。随着公司产能的不断提升和技术的持续创新,中欣晶圆有望在半导体材料领域取得更加辉煌的成就。


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