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LEMO推出带定位销的标准自锁多芯连接器

来源: 中电网
2021-07-19
类别:新品快报
eye 13
文章创建人 拍明

原标题:LEMO推出带定位销的标准自锁多芯连接器

Atonarp宣布推出创新计量平台Aston,这一举措旨在显著提升半导体制造工艺的产量、吞吐量和效率。以下是关于Aston平台的详细解析:

一、Aston平台简介

  • 背景:Atonarp,作为半导体、保健和制药行业分子传感及诊断产品的领先制造商,于2021年7月16日正式宣布推出Aston平台。该平台是一个创新型原位半导体计量平台,带有集成等离子体电离源,标志着半导体生产计量领域的一次重大演变。

  • 特点:Aston专为半导体生产而设计,能够实现原位分子过程控制,使现有工厂运行更高效,推动产出提升。它具备高灵敏度和高精确度,能够准确提供实时工艺化学数据,其分子浓度测量灵敏度可达十亿分之一。

二、Aston平台的主要优势

  1. 提升产量和吞吐量

    • Aston在某些应用中的单位工艺吞吐量可以提升40%以上,这对于晶圆厂来说是一个显著的改进。对于一家典型的晶圆厂,即使整体产能提高1%,每年的产量也能增加价值数千万美元。

    • 通过快速、可操作的端点检测(EPD),Aston能够准确检测一个过程何时结束,从而优化生产流程。例如,在腔室清洁方面,Aston可将所需的清洁时间减少80%。

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  1. 适应恶劣环境

    • Aston对腐蚀性气体和气态污染物冷凝物具有抵抗力,能够在半导体生产中出现的恶劣条件下可靠运行。这得益于其独立的双电离源设计(包括一个经典的电子冲击电离源和一个无灯丝等离子体电离器),使得Aston能够在传统电子电离器会迅速腐蚀和失效的环境中使用。

  2. 延长服务间隔

    • 与传统质量分析仪相比,Aston的服务间隔时间延长了100倍。它拥有自清洁能力,可以清除某些过程中产生的冷凝物沉积,减少了维护成本和时间。

  3. 实时数据统计分析

    • Aston能够提供量化、可操作的实时数据,提高过程一致性。同时,它还能通过人工智能推进高性能机器学习,满足最苛刻的过程应用需求。

三、Aston平台的应用范围

Aston平台主要针对化学气相沉积(CVD)和蚀刻应用,这两种应用的年增长率均超过13%。它既可以在新腔室组装时安装在其中,也能够加装在已经运行的现有腔室中。此外,Aston还可与韩国ATI公司开发的智能压力控制器Psi组合使用,提供综合解决方案。

四、市场反响与未来发展

  • Atonarp已向韩国和美国的领先半导体FAB和设备制造商交付了Aston平台,并收到积极反馈。随着半导体行业的不断发展,Aston平台有望在未来发挥更加重要的作用,推动半导体制造工艺的进一步升级和优化。

综上所述,Atonarp推出的创新计量平台Aston凭借其显著的优势和广泛的应用范围,正在逐步改变半导体制造工艺的面貌,为行业带来更高的产量、吞吐量和效率。


责任编辑:David

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