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制备芯片原材料,我国有了更大的“锅”

来源: 中电网
2021-07-08
类别:业界动态
eye 11
文章创建人 拍明

原标题:制备芯片原材料,我国有了更大的“锅”

制备芯片原材料,我国确实在设备方面取得了显著的进展,拥有了更大的“锅”——即超大规格的热等静压设备。以下是对这一进展的详细解读:

一、设备研制背景与意义

随着全球芯片产业的快速发展,对芯片原材料的需求也日益增长。高纯溅射靶材作为芯片制造的关键原材料之一,其制备过程需要高精度的设备和工艺。为了满足国内芯片产业对高纯溅射靶材的需求,提升我国在全球芯片产业链中的地位,研制超大规格的热等静压设备显得尤为重要。

二、设备研制与投产

由宁波江丰电子材料股份有限公司(江丰电子)与四川航空工业川西机器有限责任公司(川西机器)联合研制的超大规格热等静压设备,于2021年6月30日正式投产。该设备是目前国内有效热区容积最大的热等静压设备,可制备长度达4米的超长规格高纯溅射靶材。

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三、设备特点与技术参数

  1. 超大规格:该设备的有效热区工作高度达到4.5米,直径1.25米,能够满足超长规格高纯溅射靶材的制备需求。

  2. 高精度:设备具有控制精度为±1兆帕的气体压力比例控制功能,确保靶材制备过程中的稳定性和均匀性。

  3. 高温高压:最高加热温度可达1500℃,最大压力可达2000个大气压,为靶材的致密化提供了极端的工艺条件。

四、设备与原材料制备的关系

热等静压设备在芯片原材料制备中起着至关重要的作用。它能够实现高纯粉末冶金溅射靶材的有效致密化,以及靶材基板异种金属的大面积扩散焊接。通过消除原材料中的缺陷,达到完美致密的工艺要求,从而制备出高质量的高纯溅射靶材。

五、设备与芯片产业的关联

  1. 提升产能:超大规格热等静压设备的投产,将显著提高我国高纯溅射靶材的制备效率,满足国内芯片产业对原材料的需求。

  2. 降低成本:通过提高制备效率和产品质量,有助于降低芯片原材料的生产成本,提升我国芯片产业的竞争力。

  3. 推动产业升级:该设备的研制和投产,标志着我国在芯片原材料制备领域取得了重要突破,有助于推动整个芯片产业的升级和发展。

综上所述,我国研制投产的超大规格热等静压设备,为芯片原材料的制备提供了有力的支持。这一进展不仅提升了我国在全球芯片产业链中的地位,也为我国芯片产业的未来发展奠定了坚实的基础。


责任编辑:David

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