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国内首条12英寸先进传感器研发中试线成功通线

来源: 中电网
2021-07-02
类别:业界动态
eye 8
文章创建人 拍明

原标题:国内首条12英寸先进传感器研发中试线成功通线

国内首条12英寸先进传感器研发中试线的成功通线,标志着我国在先进传感器技术领域取得了重要突破。以下是对该中试线的详细介绍:

一、中试线基本信息

  • 建设单位:国家智能传感器创新中心

  • 建设地点:上海嘉定工业区

  • 中试线规格:国内首条12英寸先进传感器中试线

二、中试线技术与设备

  • 主要设备:以国产设备为主

  • 核心技术:具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力

三、中试线功能与服务

  • 功能:为国产装备提供验证平台,加速先进传感器产业链国产化,实现自主可控

  • 服务:提供产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务

四、中试线研发方向与产业化

  • 研发方向:面向新兴技术发展和市场应用需求,持续开发新材料、新工艺、新器件和新集成等关键共性技术

  • 重点突破:重点突破光学、声学、力学、生物等先进传感器的核心工艺

  • 产业化:推动相关产品及应用的产业化

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五、中试线的影响与意义

  • 行业影响:中试线的成功通线有利于打造一个集研发、工程、市场、孵化的一体化功能平台,推进区域内产、学、研、用的协同发展

  • 区域发展:以研发中试线为支点,可以撬动更多创新企业和高层次人才团队来到嘉定,开展产品技术研发,助力嘉定打造千亿级智能传感器及物联网产业

  • 国家战略:符合我国加快推动先进传感器产业发展的国家战略需求,有助于提升我国在全球传感器市场的竞争力

综上所述,国内首条12英寸先进传感器研发中试线的成功通线是我国传感器技术领域的一次重要里程碑,对于推动我国传感器产业的快速发展具有重要意义。


责任编辑:David

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