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KLA发布全新汽车产品组合以提高芯片良率及可靠性

来源: 中电网
2021-06-24
类别:业界动态
eye 14
文章创建人 拍明

原标题:KLA发布全新汽车产品组合以提高芯片良率及可靠性

KLA公司确实发布了全新汽车产品组合以提高芯片良率及可靠性,以下是关于这一产品组合的详细介绍:

一、产品组合概述

KLA公司发布的全新汽车产品组合包括四款主要产品:

  1. 8935高产能图案晶圆检测系统

  2. C205宽波段等离子图案晶圆检测系统

  3. Surfscan® SP A2/A3无图案晶圆检测系统

  4. I-PAT®在线缺陷部件平均测试筛选解决方案

二、产品特点与功能

  1. 8935高产能图案晶圆检测系统

    • 采用新的光学技术和DefectWise® AI解决方案。

    • 能够以低噪比率捕获各种关键缺陷,并快速准确地识别可能影响芯片最终质量的工艺偏差。

  2. C205宽波段等离子图案晶圆检测系统

    • 采用了宽波段光谱和NanoPoint™技术。

    • 对于关键缺陷高度灵敏,有助于加快新工艺和器件的优化。

  3. Surfscan® SP A2/A3无图案晶圆检测系统

    • 结合了DUV光学系统和先进算法。

    • 灵敏度和速度足以在汽车芯片上识别并消除可能产生可靠性问题的工艺缺陷,同时确保工艺设备以最佳性能运行。

  4. I-PAT®在线缺陷部件平均测试筛选解决方案

    • 运行于KLA检测和数据分析系统中。

    • 从高速8系列检测仪(如8935或Puma™激光扫描检测仪)在关键工艺步骤中采集的所有晶圆数据中提取缺陷特征。

    • 利用SPOT™量产平台上的定制机器学习算法和Klarity®缺陷管理系统的统计分析功能来辨别异常的缺陷,从而可以从供应链中剔除有风险的芯片。

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三、产品组合的意义与应用

  1. 提高芯片良率与可靠性

    • KLA的全新检测系统以及在线筛选解决方案专为生产汽车芯片的晶圆厂量身定制。

    • 在芯片制造的源头侦测可能影响可靠性的缺陷,并为在线筛选提供创新的解决方案。

    • 协助晶圆厂以高良率制造质量优良且高度可靠的芯片,同时最大限度地提高产能。

  2. 满足汽车行业对芯片的高标准要求

    • 汽车行业在电气化、互联性、高级驾驶辅助和自动驾驶等领域的创新推动了半导体芯片的需求。

    • 芯片在车辆驾驶和安全应用中的核心地位使其可靠性至关重要,因此汽车芯片必须符合严格的质量标准。

    • KLA的产品组合有助于确保汽车芯片满足这些高标准要求。

  3. 推动汽车电子生态系统的发展

    • KLA致力于确保汽车行业实现严格的电子质量标准。

    • 新产品扩充了KLA全方位的检测、量测、数据分析和工艺系统组合,为汽车电子生态系统提供多方位的支持。

综上所述,KLA发布的全新汽车产品组合在提高芯片良率及可靠性方面具有重要意义,有助于满足汽车行业对芯片的高标准要求,并推动汽车电子生态系统的发展。


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