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X-FAB增强工艺改进显著提升光电二极管响应速度

来源: 电子产品世界
2021-04-09
类别:新品快报
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文章创建人 拍明

原标题:X-FAB增强工艺改进显著提升光电二极管响应速度

X-FAB作为一家全球公认的卓越的模拟/混合信号与光电解决方案Foundry厂,通过工艺改进显著提升了光电二极管的响应速度。以下是对X-FAB增强工艺改进及其成果的详细分析:

一、工艺改进背景

X-FAB对其XS018 180nm传感器工艺进行了改进,这一工艺原本主要面向多像素CMOS图像传感器的制造。通过改进,X-FAB推出了专门用于光电二极管制造的新模块,从而显著扩大了其应用范围。

二、工艺改进成果

  1. 光电二极管专用工艺核心模块

    • X-FAB现在能够为客户提供六种不同的光电二极管选择,这些光电二极管覆盖了从紫外线(UV)到近红外(NIR)的波长范围,满足了客户的各种应用需求。

  2. 显著提升的响应速度

    • 新型X-FAB光电二极管在UVA、UVB和UVC波段的量子效率(QE)分别达到了40%、50-60%和60%,相比之前有了显著提升。

    • 在NIR波段,光电二极管的QE在850nm波长时比基于原XH018工艺的传统器件高出17%,在905nm波长时的QE增加5%。

  3. 增强的灵敏度与多样性

    • X-FAB后续还推出了四款新型高性能光电二极管,包括两款响应增强型光电二极管(doafe和dobfpe)以及两款紫外线专用光电二极管(dosuv和dosuvr)。

    • doafe是一个全光谱传感器,具有高达730nm的峰值灵敏度,在730nm波长下,光谱响应度为0.48A/W,与上一代相比,灵敏度提升约15%,响应更加平稳,提高50%以上。

    • dobfpe在红光和近红外(NIR)区的响应能力得到显著增强,峰值灵敏度约为770nm,专门针对红外信号的检测,灵敏度相比上一代dob产品提升了约25%。

    • dosuv在UVC波段(200nm至280nm)的灵敏度表现堪称业界领先,在260nm波长时,光谱响应度几乎是市场上以往任何同类产品的两倍,235nm波长的响应度达到0.16A/W。

  4. 其他增强功能

    • 新工艺允许通过指定金属孔径的大小来规定光电二极管的响应度,使得光电二极管的输出电流可在全电流和无电流之间缩放,以补偿滤波造成的任何差异,从而简化了光电二极管阵列的配套放大电路。

    • 与基于早期XH018器件相比,填充因子提高了10%,可以创建针对较低光照水平做出响应的器件,或减小芯片尺寸以节省空间。

    • 新产品提供了与上一代产品类似的填充因子和光电流数值,同时所需的芯片面积可减少约20%,更易于集成;较小的暗电流值意味着可获得良好的信号完整性特征。

    • 产品支持-40℃至175℃的工作温度范围。

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三、市场与应用前景

  1. 市场潜力

    • 随着物联网、智能家居、自动驾驶等领域的快速发展,光电二极管的应用需求不断增长。X-FAB的增强工艺改进使得其光电二极管产品更具竞争力,有望在这些领域占据更大的市场份额。

  2. 应用拓展

    • 新型光电二极管的高灵敏度、快响应速度和多功能性使得它们能够应用于更多领域,如烟雾探测、位置感测、光谱测定、接近感测等。这些应用将进一步推动X-FAB光电二极管产品的市场增长。

综上所述,X-FAB通过增强工艺改进显著提升了光电二极管的响应速度,并推出了多款高性能的新型光电二极管产品。这些产品在灵敏度、响应速度、多样性和易集成性等方面具有显著优势,为物联网、智能家居等领域的应用提供了有力支持。


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