原标题：意法半导体与A*STAR和ULVAC携手合作，在新加坡成立世界首个“Lab-in-Fab”实验室，推进压电式MEMS技术应用

意法半导体与A*STAR和ULVAC携手合作，在新加坡成立世界首个“Lab-in-Fab”实验室

事件概述：

全球领先的半导体供应商和MEMS（微机电系统）技术的世界领导者意法半导体（STMicroelectronics），与新加坡A*STAR的微电子研究所（IME）以及日本领先的制造工具供应商ULVAC（爱发科株式会社）携手合作，在新加坡成立了世界首个“Lab-in-Fab”实验室。该实验室旨在推进压电式MEMS技术的应用与发展。

合作背景与目的：

• 意法半导体：作为全球半导体行业的佼佼者，意法半导体在MEMS技术领域拥有深厚的积累，致力于为客户提供创新的半导体解决方案。

• A*STAR的微电子研究所（IME）：作为新加坡科学技术研究局（A*STAR）下属的研究所，IME在微电子领域具有卓越的研发能力和丰富的产业经验，特别是在压电式MEMS器件设计、工艺集成和系统集成方面。

• ULVAC：作为日本领先的制造工具供应商，ULVAC在真空技术和半导体制造设备方面拥有先进的技术和解决方案。

此次合作旨在通过整合三方在压电材料、压电式MEMS技术和晶圆制造工具领域的领先技术和优势互补的研发能力，促进新材料和工艺技术的创新发展，最终加快企业客户的产品开发。

“Lab-in-Fab”实验室详情：

• 位置与设施：该实验室位于意法半导体新加坡晶圆厂内，包括一个新建的洁净室区。实验室将配备来自三个合作方的工具设备和专用资源，为MEMS研发制程科学家和工程师提供一流的工作场所。

• 研发方向：实验室以压电式MEMS技术为重点研发方向，旨在加快从概念验证到量产的转化过程，并推动压电式MEMS在AR/VR、医疗和3D打印等新产品中的应用。

• 预期成果：预计实验室将在2021年第二季度建成启用并产出首批晶圆，到2022年底实现量产。这将有助于增强意法半导体新加坡公司现有的制造工艺组合，并加快压电式MEMS执行器在新兴领域的应用。

合作意义与影响：

• 加速技术创新：通过“Lab-in-Fab”实验室，三方合作伙伴能够更紧密地协同工作，加速压电式MEMS技术的创新与发展。

• 提升产业竞争力：实验室的成立将有助于提升新加坡乃至全球在MEMS技术领域的产业竞争力，吸引更多的创新资源和企业参与。

• 推动新兴应用：压电式MEMS技术在AR/VR、医疗和3D打印等新兴领域具有广阔的应用前景。实验室的成立将有助于推动这些领域的技术进步和产业发展。

总结：

意法半导体与A*STAR的微电子研究所（IME）以及ULVAC的携手合作，在新加坡成立世界首个“Lab-in-Fab”实验室，是半导体行业的一次重要创新举措。该实验室的成立将有助于加速压电式MEMS技术的创新与发展，提升产业竞争力，并推动新兴领域的技术进步和产业发展。