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佳能全新FPD曝光设备,满足新一代面板制造高精细化需求

来源: 中电网
2020-11-18
类别:新品快报
eye 25
文章创建人 拍明

原标题:佳能全新FPD曝光设备,满足新一代面板制造高精细化需求

佳能全新FPD曝光设备通过多项技术创新,显著提升了高精细化面板制造能力,满足新一代显示技术需求。

一、技术突破与性能提升

  1. 高分辨率与曝光精度

    • MPAsp-E1003H:支持第6代玻璃基板,采用投影光学系统实现1.5μm(L/S)高分辨率,较上一代产品提升约20%。

    • MPAsp-E903T:针对中小型显示面板,解析度达1.2μm(L/S),通过DUV(深紫外线)波长光源与新光学系统,实现高精细化曝光。

  2. 生产效率与良率优化

    • 曝光幅面与次数优化:MPAsp-E1003H一次曝光幅面扩大约1.2倍,智能手机面板生产从6shot曝光减少至4shot,车载横向大型显示器实现2shot无接缝曝光。

    • 驱动速度与tact time提升:玻璃基板搭载台驱动速度提升60%,tact time缩短14%,量产效率显著提高。

  3. 套刻精度与工艺稳定性

    • 非线性补正REI模块:搭载实时均等化失真图像技术,实现±0.30μm高套刻精度,较上一代±0.25μm进一步提升。

    • 温度调节与内部布局优化:通过改进设备内部结构,确保高套刻精度的同时提升工艺稳定性。

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二、应用场景与市场定位

  1. 车载显示器

    • 针对自动驾驶与电动汽车市场,MPAsp-E1003H可生产轻薄、高精度车载横向大型特殊显示器,满足多样化布局需求。

  2. 智能手机与中小型面板

    • MPAsp-E903T专注于高精细化中小型显示面板,适用于OLED折叠屏、VR设备等对分辨率要求极高的应用场景。

  3. 高附加值显示面板

    • 佳能设备致力于超高精细与可折叠式面板的量产,助力显示技术向更高附加值领域发展。

三、行业影响与竞争格局

  1. 技术领先性

    • 佳能通过持续创新,在FPD曝光设备领域保持技术优势,尤其在大型面板与高精细化中小型面板市场占据重要地位。

  2. 市场竞争

    • 佳能与尼康等厂商形成竞争格局,佳能擅长大型面板曝光设备,尼康则在中小型面板领域更具优势。

  3. 行业趋势

    • 随着显示技术向高精细化、轻薄化、大型化发展,佳能设备的技术突破将推动行业向更高水平迈进。

四、未来展望

佳能全新FPD曝光设备通过高分辨率、高效率、高精度的技术优势,满足了新一代面板制造的高精细化需求。未来,随着显示技术的不断演进,佳能有望继续引领行业创新,推动FPD曝光设备向更高性能、更广泛应用场景发展。


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标签: 全新FPD

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