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半导体元器件容易失效的原因,离不开这五大原

来源: 中电网
2020-10-22
类别:技术信息
eye 34
文章创建人 拍明

原标题:半导体元器件容易失效的原因,离不开这五大原

半导体元器件容易失效的原因,确实主要离不开以下五大原因:

1. 材料与工艺缺陷

  • 材料不纯:半导体材料(如硅、锗等)在生长和提纯过程中可能含有杂质,这些杂质会成为电荷陷阱或复合中心,影响载流子的迁移率和寿命,从而降低器件性能,甚至导致失效。

  • 工艺控制不当:在制造过程中,如光刻、刻蚀、掺杂、薄膜沉积等步骤,若工艺参数(如温度、压力、时间、气体流量等)控制不当,会导致器件结构异常,如层间短路、开路、界面态增多等,进而引发失效。

2. 电应力

  • 过电压:当半导体元器件承受的电压超过其额定值时,会导致PN结击穿、介质层击穿或栅氧化层击穿,造成永久性损坏。

  • 过电流:过大的电流通过器件时,会产生大量的热量,使器件温度升高,可能导致热击穿、金属互连线熔断或封装材料损坏。

  • 静电放电(ESD):在半导体元器件的生产、运输、装配和使用过程中,静电放电是一个常见的失效原因。ESD会产生高电压和大电流,瞬间击穿器件的敏感区域,导致失效。

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3. 热应力

  • 温度循环:半导体元器件在工作过程中会经历温度变化,这种温度循环会导致材料热膨胀系数不匹配,产生热应力,进而引发封装开裂、焊点疲劳、金属互连线断裂等问题。

  • 高温老化:长时间在高温环境下工作,会加速器件内部材料的扩散、化学反应和物理变化,导致性能退化,如阈值电压漂移、漏电流增大、迁移率下降等。

4. 环境因素

  • 湿度:高湿度环境会导致半导体元器件表面吸附水分,形成水膜,降低绝缘电阻,增加漏电流,甚至引发短路。同时,水分还可能渗入封装内部,腐蚀金属互连线或与材料发生化学反应,导致失效。

  • 化学腐蚀:半导体元器件在特定环境下可能接触到腐蚀性气体(如氯气、硫化氢等)或液体(如酸、碱等),这些腐蚀性物质会与器件材料发生化学反应,破坏器件结构,导致失效。

  • 辐射:在核电站、航空航天等特殊环境中,半导体元器件可能受到辐射的影响。辐射会产生电子-空穴对,导致器件性能退化,如阈值电压漂移、增益下降等。严重时,辐射还可能直接损坏器件结构,造成永久性失效。

5. 机械应力

  • 振动与冲击:在运输、装配和使用过程中,半导体元器件可能受到振动和冲击力的作用。这些机械应力可能导致封装开裂、焊点脱落、金属互连线断裂或芯片与基板之间的粘接失效等问题。

  • 封装缺陷:封装是保护半导体元器件免受外界环境影响的重要措施。然而,封装过程中可能存在缺陷,如封装材料内部存在气泡、裂纹或封装与芯片之间的粘接不牢固等。这些缺陷在受到机械应力时容易扩展,导致封装失效,进而引发器件失效。


责任编辑:David

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标签: 半导体元器

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