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承继传统技术优势 东芝发力SiC功率器件

来源: 中电网
2020-10-13
类别:技术信息
eye 24
文章创建人 拍明

原标题:承继传统技术优势 东芝发力SiC功率器件

在新能源汽车、光伏逆变器、工业电机驱动等高功率密度、高效率需求场景下,碳化硅(SiC)功率器件正逐步取代传统硅基(Si)器件,成为功率半导体领域的核心发展方向。作为全球功率半导体领域的传统巨头,东芝依托其深厚的技术积累与产业优势,正加速布局SiC功率器件赛道,试图在下一代电力电子技术竞争中占据先机。


一、东芝的传统技术优势:SiC器件研发的坚实基础

1. 功率半导体技术积淀

  • IGBT与MOSFET先驱:东芝自1980年代起即投入IGBT(绝缘栅双极型晶体管)研发,是全球首家实现IGBT量产的企业,其“平面栅结构IGBT”技术至今仍是行业主流。

  • Si基功率器件龙头:东芝在Si基MOSFET、二极管等领域长期占据全球前三市场份额,年出货量超百亿颗,技术成熟度与供应链控制力行业领先。

2. 材料与工艺协同创新

  • SiC外延片技术:东芝与日本信越化学(Shin-Etsu)等材料企业深度合作,开发出低缺陷密度、高均匀性的SiC外延片,晶体缺陷率低于0.1/cm²,远低于行业平均水平(0.5~1/cm²)。

  • 高温封装技术:东芝的“直接键合铜”(DBC)基板与“银烧结”工艺,可承受SiC器件高达200℃的工作温度,寿命较传统焊料封装延长3倍以上。


二、东芝SiC功率器件的核心技术突破

1. SiC MOSFET:低导通电阻与高可靠性

  • 第三代SiC MOSFET:东芝最新推出的“TSC143M系列”SiC MOSFET,导通电阻(Rds(on))低至2.5mΩ(@Vgs=18V),较上一代产品降低30%,效率提升2个百分点。

  • 栅极氧化层优化:通过“氮掺杂氧化层”技术,栅极氧化层可靠性提升5倍,击穿电压达1700V,满足新能源汽车800V高压平台需求。

2. SiC二极管:低反向恢复损耗

  • JBS(结势垒肖特基)二极管:东芝的“TRS16H06”系列SiC二极管,反向恢复时间(trr)仅25ns,较Si基快恢复二极管(FRD)缩短90%,反向恢复电荷(Qrr)降低80%,显著减少高频开关损耗。

3. 模块化集成:SiC功率模块

  • 全SiC功率模块:东芝的“TM6H120S”模块集成6颗SiC MOSFET与6颗SiC二极管,封装体积缩小40%,功率密度提升至50kW/L,适用于新能源汽车主驱逆变器。

  • 双面散热技术:通过“直接液冷散热”设计,模块热阻降低至0.1K/W,较传统单面散热模块效率提升15%。


三、东芝SiC器件的市场战略与竞争格局

1. 目标市场与应用场景


市场领域典型应用东芝优势
新能源汽车主驱逆变器、OBC(车载充电机)高压SiC模块体积小、效率高
光伏逆变器集中式/组串式逆变器SiC二极管降低系统损耗10%以上
工业电机驱动伺服驱动器、变频器SiC MOSFET高频特性提升电机效率
充电桩150kW以上超充桩SiC功率模块减少散热成本30%

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2. 竞争对比:东芝VS国际对手

  • 与英飞凌(Infineon)对比

    • 东芝在SiC二极管技术成熟度上略胜一筹,反向恢复损耗更低;

    • 英飞凌在SiC MOSFET栅极驱动芯片集成度更高,但东芝的模块封装散热性能更优。

  • 与罗姆(ROHM)对比

    • 罗姆在SiC晶圆产能上占据优势(全球份额约20%),但东芝的工艺良率更高(95% vs 90%),成本更具竞争力。

3. 产能扩张与供应链保障

  • 日本姬路工厂:东芝计划投资200亿日元(约1.5亿美元)扩建SiC产线,产能提升至2025年的50万片/年(6英寸晶圆)。

  • 垂直整合战略:通过控股日本电化(Denka)等SiC材料企业,东芝实现了从衬底、外延到器件的全产业链自主可控。


四、东芝SiC器件的商业化进展与客户案例

1. 新能源汽车领域

  • 丰田bZ4X:东芝SiC功率模块应用于其主驱逆变器,系统效率提升至97%,续航里程增加5%。

  • 特斯拉Model 3:东芝为特斯拉早期SiC逆变器提供SiC二极管,助力其实现15分钟快充(250kW)。

2. 光伏逆变器领域

  • 华为SUN2000系列:采用东芝SiC二极管的光伏逆变器,转换效率达98.8%,较传统Si基逆变器提升1.2个百分点。

  • 阳光电源SG3125HV:东芝SiC模块助力其实现3.125MW集中式逆变器,功率密度行业领先。

3. 工业电机驱动领域

  • 安川电机Σ-7系列伺服:集成东芝SiC MOSFET的驱动器,开关频率提升至100kHz,电机响应速度提升3倍。

  • 西门子SINAMICS G120:采用东芝SiC模块的变频器,在40℃环境温度下仍可满载运行。


五、挑战与未来:东芝的SiC之路能否持续领跑?

1. 技术挑战

  • SiC晶圆成本:当前6英寸SiC晶圆价格是同尺寸Si晶圆的10倍以上,东芝需通过更大尺寸晶圆(8英寸)与工艺优化降低成本。

  • 高温封装可靠性:SiC器件工作温度达200℃以上,封装材料(如焊料、基板)的长期可靠性仍需验证。

2. 市场挑战

  • 中国厂商崛起:三安光电、士兰微等中国企业通过低价策略抢占中低端市场,东芝需在高端市场巩固壁垒。

  • 标准制定权争夺:SiC器件的测试标准、封装规范尚未统一,东芝需联合国际组织(如JEDEC)推动标准化。

3. 未来战略

  • 技术迭代:开发第四代SiC MOSFET,目标导通电阻降至1.5mΩ以下,栅极电荷(Qg)降低50%。

  • 生态合作:与特斯拉、丰田等车企共建SiC器件测试平台,加速产品导入周期。

  • 8英寸晶圆布局:计划2026年实现8英寸SiC晶圆量产,成本较6英寸降低40%。


六、结语:东芝的SiC野心与行业影响

东芝依托其在功率半导体领域的传统优势,正通过材料创新、工艺优化与生态合作,加速SiC功率器件的商业化落地。尽管面临成本、竞争与标准化的挑战,但东芝在SiC MOSFET与模块封装技术上的领先地位,使其有望在新能源汽车、光伏逆变器等高增长市场中持续受益。未来,随着8英寸晶圆产能的释放与第四代SiC器件的量产,东芝或将重新定义功率半导体的技术边界与市场格局。

一句话总结:东芝的SiC之路,是传统巨头的自我革新,更是下一代电力电子技术的必争高地。


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标签: 功率器件

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