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EUV光刻机
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ASML下一代高精准度EUV光刻机售价将高达3亿美元
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　　对于半导体制造来说，光刻机是极为关键的设备。数据显示，在先进制程产线当中，光刻机的成本占比高达22%，同时也在所有制造工序所消耗的时间当中占据了20%。而全球光刻机大厂ASML独家供应的EUV光刻机，则是制造7nm以下先进制程的必备设备。　　目前 ASML 已经推出第三代 EUV光刻机，分别是 TWINSCAN NXE: 3400B、......
EUV光... 台积电 制程节点
2021-12-24
14
ASML下一代EUV光刻机将提前量产：售价3亿美元，Intel首发采用
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　　在上月的ITF大会上，imec（比利时微电子研究中心）公布的蓝图显示，2025年后晶体管进入埃米尺度（Å，angstrom，1埃 = 0.1纳米），其中2025对应A14（14Å=1.4纳米），2027年为A10（10Å=1nm）、2029年为A7（7Å＝0.7纳米）。　　当时imec就表示，除了新晶体管结构、2D材料，还有很关键的......
EUV光... ASML 2D材料
2021-12-15
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国产光刻机背后的希望
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　　国产光刻机的星星之火，来自这六家公司。　　作者 | 温淑　　编辑 | 心缘　　国产光刻机的研发进程，似乎越发“扑朔迷离”。　　今年六月份有消息传出，国产光刻机龙头上海微电子将在一年内交付用于28nm制程生产的193nm ArF光刻机。　　另外，据方正证券今年发布的相关研报，国家02专项光刻机项目二期曾设定，拟于2020年12月验收由上......
国产光刻... EUV光...
2021-12-07
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为摩尔定律“续命”，Chiplet技术能行吗？
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　　在超越摩尔定律的技术方向上，业界有很多热议，最热门的莫过于通过更先进的工艺制程来提升单位面积内晶体管的密度。然而，出于成本和技术难度等多方面的考虑，并非所有设计都需要采用7nm、5nm甚至3nm这样的高阶制程。随着单片集成的成本不断上升，许多企业开始探索其他选择，先进的封装技术如2.5D和3D系统级封装（SiP）就是其中的热门选项。　......
多芯片模... 有源插入... EUV光...
2021-11-24
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不用EUV光刻机也能造5nm芯片？铠侠携手NDP与佳能力推NIL技术
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　　在半导体制程技术进入5nm节点之后，EUV光刻机已经成为了不可或缺的关键设备。但是，因为EUV光刻机造价高昂，每台价格超过1亿美元，而且EUV光刻机仅荷兰ASML一家产生能够供应，且产能有限，这使得芯片的生产成本大幅升高。为解决这样的问题，日本存储大厂铠侠（Kioxia） 现在联合了合作伙伴开发了一种新的NIL制程技术，可以不使用E......
EUV光... 纳米压印... 手机应用...
2021-10-26
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抛弃纳米制程叫法、开启半导体埃米时代：英特尔公布技术路线图，启动芯片代工服务
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　　刚刚，英特尔公布了公司有史以来最详细的制程工艺和封装技术路线图！　　除了公布其近十多年来首个全新晶体管架构 RibbonFET 和业界首个全新的背面电能传输网络 PowerVia 之外，英特尔还重点介绍了迅速采用下一代极紫外光刻（EUV）技术的计划，即高数值孔径（High-NA）EUV。　　据悉，英特尔有望率先获得业界第一台 Hig......
集成电路 EUV光... 嵌入式
2021-07-28
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ASML携手东京电子研发下一代EUV光刻机，预计2023年投入运行
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　　日前日本最大半导体成膜、蚀刻设备公司东京电子宣布，将在镀膜/显影技术上与ASML合作，以联合推进其下一代NA EUV光刻机的研制，确保2023年投入运行。参与该EUV光刻机研发的还有比利时的欧洲微电子中心。　　东京电子表示，自旋金属抗蚀剂已显示出高分辨率和高蚀刻电阻，并有望使图案更加精细。然而，含有金属的抗蚀剂也需要复杂的图案尺寸控......
EUV光... 工艺模块 高蚀刻电...
2021-06-15
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ASML将赴韩国建EUV设备再制厂及培训中心，预计2025年建成
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　　据韩国经济日报报导，5月13日韩国产业通商资源部（The Ministry of Trade, Industry and Energy，MOTIE）对外宣布，全球光刻机龙头大厂艾司摩尔（ASML）计划赴韩国打造EUV 再制造（remanufacturing）厂及培训中心。　　据介绍，ASML未来4年将在韩国投资2,400亿韩元（2.......
EUV设... 半导体设... EUV光...
2021-05-18
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EUV光刻机持续大卖！ASML一季度净利大涨240%
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　　全球光刻机大厂ASML公司发布了一季度财报，当季营收43.64亿欧元，同比增79%，上年同期为24.41亿欧元；净利润为13.31亿欧元，同比增240%，上年同期为3.91亿欧元。　　ASML表示，一季度最新型EUV光刻机出货九台；今年全年总销量可望较去年成长30%，维持原先预测不变；预计明年出货55台。　　一季度，ASML的光刻机订......
光刻机 ASML EUV设...
2021-04-25
13
零部件库存告急，传中芯国际已获14nm及以上成熟制程许可
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　　根据半导体行业研究机构芯谋研究首席分析师顾文军爆料称，中芯国际已获得部分美国设备厂商供应14nm及以上成熟制程设备的供应许可，并且中芯国际之前一直有申请但未获通过的一类关键设备（用于14nm），此次也获得了通过。　　日前摩根士丹利分析师发布研报也曾指出，美国设备供应商近期已经恢复了对中芯国际的零组件供应和现场服务。一定程度上缓解了外界......
中芯国际 半导体设... EUV光...
2021-03-03
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SK海力士与ASML签合同：斥资4.8万亿韩元采购EUV光刻机
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　　随着半导体制程工艺进入7nm及以下节点，EUV光刻机成为最为关键的设备。之前台积电、三星都依赖于ASML的EUV光刻机量产了5nm的芯片，不过目前EUV光刻机主要都还是应用在逻辑芯片的制造上。而现在，存储芯片厂商也开始引入EUV光刻机，推动存储芯片的制程工艺。　　近日，SK海力士与ASML公司签订了一个超级大单，豪掷4.8万亿韩元（约......
EUV光... 存储芯片 逻辑芯片
2021-02-26
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ASML已完成第100台EUV光刻机出货，2021年产能可达45～50台
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　　根据最新的数据显示，光刻机大厂ASML的极紫外光（EUV）光刻机在12月中完成了第100台EUV光刻机的出货，预估2021年其EUV曝光机产能可达45～50台规模，这也意味着EUV光刻机出货进入高速成长阶段。　　由于台积电、三星、英特尔、SK海力士等半导体大厂均全力布建EUV生产线，ASML的EUV光刻机的出货量将会持续增长。　　半导......
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2021-01-04
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商务部发声：希望荷方在华为5G、EUV光刻机等问题上秉持公平立场
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　　据商务部网站12月16日下午消息，商务部副部长、国际贸易谈判副代表俞建华与荷兰外交部外贸与发展合作大臣卡格以视频形式共同主持召开中荷经贸混委会第17次会议，就共同关心的中荷、中欧经贸合作议题深入交换意见。　　俞建华表示，当前中国正在加快构建以国内大循环为主体、国内国际双循环相互促进的新发展格局，这将给中荷、中欧合作带来新机遇。面对新冠......
EUV光...
2020-12-22
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韩媒：三星李在镕亲征荷兰 ASML，与台积电争抢 EUV光刻机设备
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　　据韩国时报报道，几个月前世界顶级内存芯片制造商三星表示，正致力于开发极紫外光 (EUV)扫描技术，现在三星电子副会长李在镕已经证实，该公司正在与荷兰 ASML 进行谈判，以进一步推进与 ASML 的业务关系。　　“这段时间，我一直在探讨如何发展有关 EUV 的关系，”李在镕周三从荷兰抵达金浦国际机场后告诉记者。李在镕在 COVID-......
光刻机设... 三星 EUV光...
2020-10-19
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台积电包揽18台EUV光刻机，总价150亿，7nm产量提升至29%
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　　　　对于了解智能机处理器的用户来讲，台积电这个名号再熟悉不过了，目前苹果A12、麒麟980、骁龙855这些7nm工艺的芯片均有台积电代工，但它们只是第一代DUV(深紫外)制程。　　制造这些芯片有一样东西必不可少，那就是EUV光刻机了，目前这种光刻机研发成本和难度极高，全世界也仅有荷兰的ASML能够有能力生产，对于整个EUV光刻机市场而......
台积电 光刻机 7nm
2019-02-13
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传台积电今年将购入18台EUV光刻机
传台积电今年将购入18台EUV光刻机
　　2月12日消息，台积电将包揽ASML今年的30台EUV光刻机中的18台，加上之前采购的几台，台积电有望在今年3月份启动7nm EUV的量产，推动7nm在其2019年晶圆销售中的占比从去年的9%提升到25%。　　目前，ASML现款EUV光刻机Twinscan NXE： 3400B报价约1.2亿美元(约合8亿人民币)，也就是说台积电订......
台积电 EUV光...
2019-02-12
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中芯1.2亿美元下单最先进EUV光刻机
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　　据《日经亚洲评论》(Nikkei Asian Review)15日援引消息人士的话称，中国芯片加工企业中芯国际(SMIC)向全球最大的芯片设备制造商——荷兰ASML订购了首台最先进的EUV(极紫外线)光刻机，价值1.2亿美元。目前，业内已达成共识，必须使用EUV光刻机才能使半导体芯片进入7nm，甚至5nm时代。今天，中芯国际方面对观......
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2018-05-21
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