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纳米压印微影
纳米压印微影
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微纳米尺度图形结构的快速复制和转移；具有高分辨率、高产量、低成本的优点；可轻易制作3D立体结构之微影刻蚀技术；高分子材料直接压印成形，避免长时间或大范围之刻蚀步骤；可简单的制作出高深宽比的结构。此设备还采用了单面硬衬垫气压软压技术、IPS技术、STU技术，增加压力均匀性，延长模板寿命延长，提升图形分辨率。相关应用包括量子磁碟、生物传感器微阵列、微流体通道、光子晶体、GaAs量子元件等

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EUV光... 纳米压印... 手机应用...
2021-10-26
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