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NVM可编程器件
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本发明公开了一种新的NVM器件,称为SONONOS器件.该SONONOS器件是将传统的SONOS器件中的ONO层改为ONONO层,并利用其中位于上方的氮化硅层存储电子或空穴.该SONONOS器件不但能保持SONOS器件高速,低功耗的特性,还能进一步提高器件的数据保持能力,尤其是高温下的可靠性能力.本发明还公开了所述SONONOS器件的制造方法.

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