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制程排气系统
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制程排气系统是指铁（氟）弗龙风管排气系统风管工程中，由制程机台至主管支管（Sub-main）间之连接风管，统称二次配排气风管（Exhaust Hook-up Ducting）工程；其主要是将制程机台所产生之各种废气（例如酸碱性废气、挥发性有机废气、一般性废气等等）经由二次配排气风管排至排气支管、主风管等再导入废气处理设备处理，处理后废气再排放至大气中的整个排气系统过程。

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制程排气... MEP 台积电
2021-08-25
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