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基于东微半导体GreenMOS™系列高压MOSFET产品的电源系统方案

来源：东微半导体

2018-07-27

类别：电源管理

1753

拍明

东微半导体的GreenMOS™系列高压MOSFET产品采用独特专利器件结构和制造工艺，具有比常规超级结(Super-Junction)MOSFET更快的开关速度及更柔和的开关曲线，在获得极低的动态损耗的同时最大限度抑制了开关震荡。不仅可以大大提高系统效率、降低发热量，同时大大简化了系统EMI设计。GreenMOS™系列产品覆盖600-800V全系列，最大提供高达76A静态电流的规格，可以满足各种电源系统的需求。由于其高效率低温升的特点，特别适用于快速充电器、LED电源、通讯、服务器电源、电动车充电桩及其他高密度高频率电源系统。

基于东微半导体GreenMOS™系列高压MOSFET产品的电源系统方案.png

高压GreenMOS

Package	P/N	Cfg.	VDS (V)	VGS (V)	ID (A)	Pd	Vth_typ (V)	Ron(Ω)		Qg (nC)	Qgs (nC)	Qgd (nC)
Package	P/N	Cfg.	VDS (V)	VGS (V)	TA=25	Pd	Vth_typ (V)	10V	2.5V	Qg (nC)	Qgs (nC)	Qgd (nC)
PDFN8*8	OSG65R099JF	N	650	30	32	278	3.5	0.099		43.6	13	13.4
PDFN8*8	OSG65R200JF	N	650	30	20	151	3	0.20		24.8	7.2	8.2
PDFN8*8	OSG60R150JF	N	600	30	23	151	3	0.15		23	6.0	8.3
TO-220	OSG60R180PF	N	600	30	20	151	3	0.18		23.3	6.6	8.3
TO-220	OSG65R200PF	N	650	30	20	151	3	0.20		24.8	7.2	8.2
TO-220	OSG65R380PF	N	650	30	11	83	3.4	0.38		12.5	3.2	4.8
TO-220	OSG60R150PF	N	600	30	23	151	3	0.15		23	6.0	8.3
TO-220	OSG55R580PF	N	550	30	8	37	3	0.58		7.7	1.8	3.3
TO-220	OSG70R350PF	N	700	30	12	104	3	0.35		16.7	4.8	5.3
TO-220	OSG55R380PF	N	550	30	11	63	3	0.38		12.5	2.6	5.7
TO-220	OSG55R190PF	N	550	30	20	104	3	0.19		17.7	4.0	7.2
TO-220	OSG55R140PF	N	550	30	23	151	3	0.14		24.1	9	7.4
TO-220	OSG55R290PF	N	550	30	15	83	3	0.29		13.0	3.0	5.6
TO-220	OSG60R380PF	N	600	30	11	83	3	0.38		13	3.6	5.6
TO-220	OSG60R580PF	N	600	30	8	63	3	0.58		9.5	2.7	3.8
TO-220	OSG60R260PF	N	600	30	15	104	3	0.26		17.8	5.1	6.3
TO-220	OSG65R900PF	N	650	30	5	37	3	0.9		7.6	1.9	3.3
TO-220	OSG65R580PF	N	650	30	8	63	3	0.58		9.5	2.7	3.8
TO-220	OSG65R220PZF	N	650	30	18	151	4	0.22		21.7	8.04	7.4
TO-220	OSG70R750PF	N	700	30	7	63	3	0.75		9.2	2.4	3.5
TO-220	OSG70R500PF	N	700	30	10	83	3	0.50		12.3	3.6	4.4
TO-220	OSG80R1K4PF	N	800	30	4	37	3	1.4		7.5	2.1	2.9
TO-220	OSG80R650PF	N	800	30	8	83	3	0.65		12.1	3.3	4.2
TO-220	OSG50R1K5PF	N	500	30	3	20	3.4	1.5		4.84	0.87	1.93
TO-220	OSG65R290PF	N	650	30	15	104	3	0.29		18	5.9	6
TO-220	OSG65R220FZF	N	650	30	18	34	4	0.22		21.7	8.04	7.4
TO-220	OSG65R760PF	N	650	30	7	37	3	0.76		7.4	1.9	3.3
TO-220	OSG65R1K4PF	N	650	30	4	28.4	3	1.4		6.7	1.5	3.2
TO-220	OSG60R108PZF	N	600	30	30	219	3.75	0.108		37.1	11	13.8
TO-220F	OSG65R2K4FF	N	650	30	2	18	3	2.4		5.7	1.1	2.5
TO-220F	OSG65R2KFF	N	650	30	3	20	3	2.0		6.3	1.2	3.3
TO-220F	OSG65R900FF	N	650	30	5	26	3	0.9		8.7	2.4	3.5
TO-220F	OSG65R760FF	N	650	30	7	26	3	0.76		7.6	1.9	3.6
TO-220F	OSG65R580FF	N	650	30	8	28	3	0.58		9.5	2.7	3.8
TO-220F	OSG65R420FF	N	650	30	10.5	31	3	0.42		14.8	3.8	5.2
TO-220F	OSG65R290FF	N	650	30	15	32	3	0.29		18	5.9	6
TO-220F	OSG65R200FF	N	650	30	20	34	3	0.20		24.8	7.2	8.2
TO-220F	OSG60R2K2F	N	600	30	2	18	3	2.2		5.1	1	2.3
TO-220F	OSG60R1K8FF	N	600	30	3	20	3	1.8		7.0	1.4	3.6
TO-220F	OSG60R1K2FF	N	600	30	4	24	3	1.2		6.8	2	3.1
TO-220F	OSG65R1K4FF	N	650	30	4	24	3	1.4		6.7	1.5	3.2
TO-220F	OSG60R900FF	N	600	30	5	26	3	0.9		7.6	1.9	3.6
TO-220F	OSG60R580FF	N	600	30	8	28	3	0.58		9.5	2.7	3.8
TO-220F	OSG60R380FF	N	600	30	11	31	3	0.38		13	3.6	5.6
TO-220F	OSG60R260FF	N	600	30	15	32	3	0.26		17.8	5.1	6.3
TO-220F	OSG70R1K4FF	N	700	30	4	24	3	1.4		7.5	2.2	3.3
TO-220F	OSG70R1KFF	N	700	30	5	26	3	1.0		7.3	1.9	3
TO-220F	OSG60R180FF	N	600	30	20	34	3	0.18		23.3	6.6	8.3
TO-220F	OSG55R140FF	N	550	30	23	34	3	0.14		24.1	9	7.4
TO-220F	OSG70R750FF	N	700	30	7	28	3	0.75		9.2	2.4	3.5
TO-220F	OSG70R500FF	N	700	30	10	31	3	0.50		12.3	3.6	4.4
TO-220F	OSG65R650FF	N	650	30	7.5	28	3	0.65		8.9	2.3	3.6
TO-220F	OSG65R380FF	N	650	30	11	31	3.4	0.38		12.5	3.2	4.8
TO-220F	OSG60R670FF	N	600	30	7	26	3	0.67		7.8	2	3.3
TO-220F	OSG60R092FF	N	600	30	40	35	3	0.092		44.9	12.9	14
TO-220F	OSG60R2K2FSF	N	600	30	2	20	3	2.2		4.8	1.1	2.7
TO-220F	OSG60R150FF	N	600	30	23	34	3	0.15		23	6.0	8.3
TO-220F	OSG55R580FF	N	550	30	8	26	3	0.58		7.7	1.8	3.3
TO-220F	OSG70R350FF	N	700	30	12	32	3	0.35		16.7	4.8	5.3
TO-220F	OSG07N65F	N	650	30	4.5	24	3	1.0		7.0	1.9	3.2
TO-220F	OSG65R460FZF	N	650	30	10	31	3	0.46		11.5	3.9	4.0
TO-220F	OSG65R099FF	N	650	30	32	35	3.5	0.099		43.6	13	13.4
TO-220F	OSG55R380FF	N	550	30	11	28	3	0.38		12.5	2.6	5.7
TO-220F	OSG55R290FF	N	550	30	15	31	3	0.29		13.0	3.0	5.6
TO-220F	OSG55R190FF	N	550	30	20	32	3	0.19		17.7	4.0	7.2
TO-220F	OSG65R099FZF	N	650	30	32	35	4	0.099		42.5	14	12.2
TO-220F	OSG50R500FF	N	500	30	9	28	3	0.50		9.3	2.7	3.6
TO-220F	OSG55R074FZF	N	550	30	47	35	4	0.074		44.8	18.2	13.8
TO-220F	OSG60R074FZF	N	600	30	47	35	4			44.8	18.2	13.8
TO-220F	OSG65R900FEF	N	650	30	5	26	3.4	0.9		9.0	2.0	3.8
TO-220F	OSG65R580FEF	N	650	30	8	28	3	0.58		12.4	3.25	5.0
TO-220F	OSG65R200FEF	N	650	30	20	34	3.4	0.2		22.5	6.0	7.3
TO-220F	OSG70R2K6FF	N	700	30	2	20	3	2.6		7.9	1.3	4.1
TO-220F	OSG70R600FF	N	700	30	8	28	3.4	0.60		12.2	2.9	4.9
TO-220F	OSG80R1K4FF	N	800	30	4	26	3	1.4		7.5	2.1	2.9
TO-220F	OSG80R650FF	N	800	30	8	31	3	0.65		12.1	3.3	4.2
TO-220F	OSG65R380FEF	N	650	30	11	31	3	0.38		15.0	3.7	5.8
TO-220F	OSG50R1K5FF	N	500	30	3	18	3.4	1.5		4.84	0.87	1.93
TO-220F	OSG55R160FZF	N	550	30	23	34	3.75	0.16		21.3	7.5	7.3
TO-220F	OSG65R290FEF	N	650	30	15	32	3.4	0.29		21	5	7.4
TO-220F	OSG65R340FZF	N	650	30	15	32	3.8	0.34		15.6	5.6	5.2
TO-220F	OSG80R380FF	N	800	30	11	34	3.4	0.38		22.2	6.8	6.3
TO-220F	OSG65R580FSF	N	650	30	8	28	3.4	0.58		12.3	2.3	5.7
TO-220F	OSG65R125FF	N	650	30	25	34	3.4	0.125		41.9	10.4	14.1
TO-220F	OSG65R140FSZF	N	650	30	25	34	3.75	0.14		55.2	13.7	24.0
TO-220F	OSG90R1K2FF	N	900	30	5	31	3	1.2		12.5	3.75	4.28
TO-220F	OSG80R900FF	N	800	30	5	28	3.4	0.9		11.7	2.8	4.4
TO-220F	OSG80R250FF	N	800	30	17	34	3.4	0.25		41.2	10.8	12.4
TO-220F	OSG60R108FZF	N	600	30	30	34	3.75	0.108		37.1	11	13.8
TO-220F	OSG60R074FSZF	N	600	30	47	35	4	0.074		66.8	24.4	23.5
TO-220F	OSG65R099FSZF	N	650	30	32	35	3.75	0.099		66.6	20.6	24.8
TO-220F	OSG65R125FZF	N	650	30	25	34	3.75	0.125		40.3	13.5	14.7
TO-220F	OSG65R900FTF	N	650	30	4.5	25	3.4	0.9		7.1	1.5	3.5
TO-247	OSG65R200HF	N	650	30	20	151	3	0.20		24.8	7.2	8.2
TO-247	OSG60R180HF	N	600	30	20	151	3	0.18		23.3	6.6	8.3
TO-247	OSG65R035HF	N	650	30	80	500	3	0.035
TO-247	OSG65R099HZF	N	650	30	32	278	4	0.099		42.5	14	12.2
TO-247	OSG60R092HF	N	600	30	40	278	3	0.092		44.9	12.9	14
TO-247	OSG60R040HF	N	600	30	78	480	3	0.040
TO-247	OSG60R041HZF	N	600	30	78	500	3.5	0.041
TO-247	OSG65R042HF	N	650	30	78	480	3	0.040
TO-247	OSG65R041HZF	N	650	30	78	500	3.5	0.041
TO-247	OSG65R069HF	N	650	30	53	390	3	0.069
TO-247	OSG60R150HF	N	600	30	23	151	3	0.15		23	6.0	8.3
TO-247	OSG65R069HZF	N	650	30	53	390	4	0.069
TO-247	OSG60R070HF	N	600	30	47	278	3	0.070		47	12.2	17.4
TO-247	OSG60R074HZF	N	600	30	47	278	4	0.074		44.8	18.2	13.8
TO-247	OSG65R038HZF	N	650	30	80	500	3	0.038
TO-247	OSG55R074HZF	N	550	30	47	278	4	0.074		44.8	18.2	13.8
TO-247	OSG65R099HF	N	650	30	32	278	3.5	0.099		43.6	13	13.4
TO-247	OSG65R125HF	N	650	30	25	219	3.5	0.125		41.9	10.4	14.1
TO-247	OSG55R140HF	N	550	30	23	151	3	0.14		24.1	9	7.4
TO-247	OSG65R220HZF	N	650	30	18	151	4	0.22		21.7	8.04	7.4
TO-247	OSG80R069HF	N	800	30	53	500	3	0.069		165	32.4	62.9
TO-247	OSG55R160HZF	N	550	30	23	151	3.75	0.16		21.3	7.5	7.3
TO-247	OSG80R250HF	N	800	30	17	219	3.4	0.25		41.2	10.8	12.4
TO-247	OSG65R140HSZF	N	650	30	25	219	3.75	0.14		55.2	13.7	24.0
TO-247	OSG60R099HSZF	N	600	30	36	278	3.7	0.099		66.8	16.6	28.7
TO-247	OSG60R099HF	N	600	30	30	219	3.4	0.099		44.8	16.3	11.4
TO-247	OSG55R092HF	N	550	30	40	101	3.4	0.092		38.6	9.0	15.2
TO-247	OSG65R069HSZF	N	650	30	53	390	3.75	0.069		108.0	27.4	45.8
TO-247	OSG60R108HZF	N	600	30	30	219	3.75	0.108		37.1	11	13.8
TO-247	OSG60R074HSZF	N	600	30	47	278	4	0.074		66.8	24.4	23.5
TO-247	OSG65R099HSZF	N	650	30	32	278	3.75	0.099		66.6	20.6	24.8
TO-251	OSG65R2KAF	N	650	30	3	23.3	3	2.0		6.3	1.2	3.3
TO-251	OSG65R2K4AF	N	650	30	2	20	3	2.4		5.7	1.1	2.5
TO-251	OSG65R900AF	N	650	30	5	37	3	0.9		8.7	2.4	3.5
TO-251	OSG65R760AF	N	650	30	7	37	3	0.76		7.6	1.9	3.6
TO-251	OSG65R580AF	N	650	30	8	63	3	0.58		9.5	2.7	3.8
TO-251	OSG65R420AF	N	650	30	10.5	83	3	0.42		14.8	3.8	5.2
TO-251	OSG65R380AF	N	650	30	11	83	3.4	0.38		12.5	3.2	4.8
TO-251	OSG65R290AF	N	650	30	15	104	3	0.29		18	5.9	6
TO-251	OSG65R2K2AF	N	600	30	2	20	3	2.2		5.1	1	2.3
TO-251	OSG60R1K8AF	N	600	30	3	22.3	3	1.8		7.0	1.4	3.6
TO-251	OSG60R1K2AF	N	600	30	4	28.4	3	1.2		6.8	2	3.1
TO-251	OSG65R1K4AF	N	650	30	4	28.4	3	1.4		6.7	1.5	3.2
TO-251	OSG60R900AF	N	600	30	5	37	3	0.9		7.6	1.9	3.6
TO-251	OSG60R580AF	N	600	30	8	63	3	0.58		9.5	2.7	3.8
TO-251	OSG60R380AF	N	600	30	11	83	3	0.38		13	3.6	5.6
TO-251	OSG60R260AF	N	600	30	15	104	3	0.26		17.8	5.1	6.3
TO-251	OSG70R1K4AF	N	700	30	4	28.4	3	1.4		7.5	2.2	3.3
TO-251	OSG70R1KAF	N	700	30	5	37	3	1.0		7.3	1.9	3
TO-251	OSG70R2K6AF	N	700	30	2	22.3	3	2.6		7.9	1.3	4.1
TO-251	OSG70R750AF	N	700	30	7	63	3	0.75		9.2	2.4	3.5
TO-251	OSG70R500AF	N	700	30	10	83	3	0.50		12.3	3.6	4.4
TO-251	OSG65R650AF	N	650	30	7.5	63	3	0.65		8.9	2.3	3.6
TO-251	OSG60R670AF	N	600	30	7	37	3	0.67		7.8	2	3.3
TO-251	OSG60R2K2ASF	N	600	30	2	18	3	2.2		4.8	1.1	2.7
TO-251	OSG60R2K8AF	N	600	30	1.5	18.1	3	2.8		4.2	1	2.3
TO-251	OSG55R580AF	N	550	30	8	37	3	0.58		7.7	1.8	3.3
TO-251	OSG70R350AF	N	700	30	12	104	3	0.35		16.7	4.8	5.3
TO-251	OSG65R460AZF	N	650	30	10	83	3	0.46		11.5	3.9	4.0
TO-251	OSG55R380AF	N	550	30	11	63	3	0.38		12.5	2.6	5.7
TO-251	OSG55R190AF	N	550	30	20	104	3	0.19		17.7	4.0	7.2
TO-251	OSG55R290AF	N	550	30	15	83	3	0.29		13.0	3.0	5.6
TO-251	OSG70R600AF	N	700	30	8	63	3.4	0.60		12.2	2.9	4.9
TO-251	OSG80R1K4AF	N	800	30	4	37	3	1.4		7.5	2.1	2.9
TO-251	OSG80R650AF	N	800	30	8	83	3	0.65		12.1	3.3	4.2
TO-251	OSG90R1K2AF	N	900	30	5	83	3	1.2		12.5	3.75	4.28
TO-251	OSG50R1K5AF	N	500	30	3	20	3.4	1.5		4.84	0.87	1.93
TO-252	OSG65R2K4DF	N	650	30	2	20	3	2.4		5.7	1.1	2.5
TO-252	OSG65R2KDF	N	650	30	3	23.3	3	2.0		6.3	1.2	3.3
TO-252	OSG65R900DF	N	650	30	5	37	3	0.9		8.7	2.4	3.5
TO-252	OSG65R760DF	N	650	30	7	37	3	0.76		7.6	1.9	3.6
TO-252	OSG65R580DF	N	650	30	8	63	3	0.58		9.5	2.7	3.8
TO-252	OSG65R420DF	N	650	30	10.5	83	3	0.42		14.8	3.8	5.2
TO-252	OSG65R380DF	N	650	30	11	83	3.4	0.38		12.5	3.2	4.8
TO-252	OSG65R290DF	N	650	30	15	104	3	0.29		18	5.9	6
TO-252	OSG65R2K2DF	N	600	30	2	20	3	2.2		5.1	1	2.3
TO-252	OSG60R1K8DF	N	600	30	3	22.3	3	1.8		7.0	1.4	3.6
TO-252	OSG60R1K2DF	N	600	30	4	28.4	3	1.2		6.8	2	3.1
TO-252	OSG65R1K4DF	N	650	30	4	28.4	3	1.4		6.7	1.5	3.2
TO-252	OSG60R900DF	N	600	30	5	37	3	0.9		7.6	1.9	3.6
TO-252	OSG60R580DF	N	600	30	8	63	3	0.58		9.5	2.7	3.8
TO-252	OSG60R380DF	N	600	30	11	83	3	0.38		13	3.6	5.6
TO-252	OSG60R260DF	N	600	30	15	104	3	0.26		17.8	5.1	6.3
TO-252	OSG70R1K4DF	N	700	30	4	28.4	3	1.4		7.5	2.2	3.3
TO-252	OSG70R1KDF	N	700	30	5	37	3	1.0		7.3	1.9	3
TO-252	OSG70R2K6DF	N	700	30	2	22.3	3	2.6		7.9	1.3	4.1
TO-252	OSG70R750DF	N	700	30	7	63	3	0.75		9.2	2.4	3.5
TO-252	OSG65R650DF	N	650	30	7.5	63	3	0.65		8.9	2.3	3.6
TO-252	OSG60R670DF	N	600	30	7	37	3	0.67		7.8	2	3.3
TO-252	OSG60R2K2DSF	N	600	30	2	18	3	2.2		4.8	1.1	2.7
TO-252	OSG60R2K8DF	N	600	30	1.5	18.1	3	2.8		4.2	1	2.3
TO-252	OSG55R580DF	N	550	30	8	37	3	0.58		7.7	1.8	3.3
TO-252	OSG70R350DF	N	700	30	12	104	3	0.35		16.7	4.8	5.3
TO-252	OSG65R460DZF	N	650	30	10	83	3	0.46		11.5	3.9	4.0
TO-252	OSG55R380DF	N	550	30	11	63	3	0.38		12.5	2.6	5.7
TO-252	OSG55R190DF	N	550	30	20	104	3	0.19		17.7	4.0	7.2
TO-252	OSG55R290DF	N	550	30	15	83	3	0.29		13.0	3.0	5.6
TO-252	OSG65R900DEF	N	650	30	5	37	3.4	0.9		9.0	2.0	3.8
TO-252	OSG65R580DEF	N	650	30	8	63	3	0.58		12.4	3.2	5.0
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TO-252	OSG70R500DF	N	700	30	10	83	3	0.50		12.3	3.6	4.4
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TO-252	OSG65R380DEF	N	650	30	11	83	3	0.38		15.0	3.7	5.8
TO-252	OSG50R1K5DF	N	500	30	3	20	3.4	1.5		4.84	0.87	1.93
TO-252	OSG65R290DEF	N	650	30	15	104	3.4	0.29		21	5	7.4
TO-252	OSG65R360DEF	N	650	30	12	83	3.4	0.36		15.2	3.3	5.9
TO-252	OSG65R1K5DZF	N	650	30	4	28.4	4.2	1.5		6.5	2.1	3.0
TO-252	OSG65R900DTF	N	650	30	4.5	32	3.4	0.9		7.1	1.5	3.5
TO-262	OSG60R180IF	N	600	30	20	151	3	0.18		23.3	6.6	8.3
TO-262	OSG60R380IF	N	600	30	11	83	3	0.38		13	3.6	5.6
TO-262	OSG60R260IF	N	600	30	15	104	3	0.26		17.8	5.1	6.3
TO-262	OSG65R760IF	N	650	30	7	37	3	0.76		7.6	1.9	3.6
TO-262	OSG65R220IZF	N	650	30	18	151	4	0.22		21.7	8.04	7.4
TO-262	OSG80R650IF	N	800	30	8	83	3	0.65		12.1	3.3	4.2
TO-262	OSG65R380IF	N	650	30	11	83	3.4	0.38		12.5	3.2	4.8
TO-263	OSG65R380KF	N	650	30	11	83	3.4	0.38		12.5	3.2	4.8
TO-263	OSG60R180KF	N	600	30	20	151	3	0.18		23.3	6.6	8.3
TO-263	OSG60R150KF	N	600	30	23	151	3	0.15		23	6.0	8.3
TO-263	OSG65R125KF	N	650	30	25	219	3.5	0.125		41.9	10.4	14.1
TO-263	OSG65R220KZF	N	650	30	18	151	4	0.22		21.7	8.04	7.4
TO-263	OSG65R200KF	N	650	30	20	151	3	0.20		24.8	7.2	8.2
TO-263	OSG70R350KF	N	700	30	12	104	3	0.35		16.7	4.8	5.3
TO-263	OSG65R290KF	N	650	30	15	104	3	0.29		18	5.9	6
TO-263	OSG80R250KF	N	800	30	17	219	3.4	0.25		41.2	10.8	12.4
TO-263	OSG60R108KZF	N	600	30	30	219	3.75	0.108		37.1	11	13.8
TO-263	OSG65R140KSZF	N	650	30	25	219	3.75	0.14		55.2	13.7	24.0
TO-3P	OSG55R140RF	N	550	30	23	151	3	0.14		24.1	9	7.4

GreenMOS技术

功率MOSFET与超级结MOSFET原理介绍

金属-氧化层-半导体场效应晶体管(MOSFET)是集成电路设计中的基本单元，它的电路符号和器件结构如图1所示。典型n沟道MOS器件具有4个电极，并连接不同的电压偏置。一般情况下源极和衬底极接低电位，比如接地。不工作时器件处于截止状态，此时器件的源极和漏极之间没有导电通道，相当于开关的断开状态。当栅极加上一个大于Vgs(th) 的正电压后，栅极氧化层下方的p型衬底表面会产生反型层，即导通沟道。沟道连通了器件源极和漏极，此时nMOS相应的处于了导通状态。栅极电压越高，导通越充分。

图1 MOSFET基本结构图2 VDMOS示意图.png

图1 MOSFET基本结构图2 VDMOS示意图

中高压功率MOSFET通常采用垂直沟道结构，如图2所示，器件的漏极在芯片底部，源极在芯片顶部，整个器件呈垂直结构放置。这种结构被称为Vertical Double-diffusion MOS (VDMOS)。从结构上看VDMOS的漏极从原来的表面位置移到了器件的底部，漏极电流也相应从器件的底部流到器件的表面，变成了垂直型器件。漏极电流与沟道之间的区域是漂移区，是高压功率器件用来耐压的主要部分。漂移区越厚且漂移区电阻率越低，则耐压越高，而与此同时器件的导通电阻相应的也就越高。这是因为VDMOS的Rdson 与BVdss的2~2.5次方成正比。即公式1：

Rdson = a* BV2~2.5

超级结MOSFET可以打破这个限制，其基本结构如图3所示。它和VDMOS相比最大的区别就是在p-body下方加入了p柱，使漂移区中出现了交替的pn结结构。利用相邻的pn柱之间相互耗尽的原理，将漂移区的浓度可以提升，使得器件导通时电阻率降低。而在关态时，p柱和n柱之间可以相互耗尽，使耗尽区尽量扩大，维持了较高的耐压，由此打破了公式1的硅极限，使导通电阻与击穿电压达到近似线性的关系，显著提高了器件的性能。

图3 SJ VDMOS示意图.png

图3 SJ VDMOS示意图

相对于普通VDMOS器件，超级结功率器件的速度更快，FOM更低，但是也会带来其他的一些负面问题，比如高di/dt & dv/dt造成的栅极振荡及EMI问题。因此，超级结的设计十分讲究，设计不当则容易导致芯片的震荡而使器件出现EMI超标的问题。

GreenMOSTM 特点介绍

GreenMOSTM系列产品是东微半导体推出的一种新型超级结(Super-Junction)功率器件。Green即“绿色”之意，意喻GreenMOSTM自身为高品质的“绿色”产品，采用GreenMOSTM可以实现绿色设计并获得绿色能源产品。 GreenMOSTM系列产品额定电压范围为500~800V，覆盖了最小1A至最大76A以及不同封装类型的总共近百种芯片规格。由于采用了东微半导体的多项自主专利技术，GreenMOSTM系列产品成功克服了常规超级结所存在的低成品率、EMI超标等难题，性能达到甚至超过了国际一流品牌的水平，大幅领先于一般功率器件供应商。相对于其他公司的超级结器件，东微半导体的GreenMOSTM具有“快而不震”的优点，其显著特点如下所述：

1. Soft-Switching (软开关)

GreenMOSTM对常规超级结功率器件的制造流程进行了多项优化设计，使器件内部的杂质分布及电容更适合于外部电路的高速开关动作，减小了纹波噪音和电压尖峰，由此所得到的开关波形更加平滑，开关期间的栅极震荡更低，有利于EMI的改善。

图4 常规超级结MOS与GreenMOSTM开关过程比较.png

图4 常规超级结MOS与GreenMOSTM开关过程比较

2. LOW FOM (低优值)

FOM(Figure of merit)是衡量功率器件设计优劣的重要标准，计算公式为Rdson*Qg，FOM越小表明器件的性能越佳。GreenMOSTM系列优化了器件的制造流程和设计，一方面通过独特的设计方法降低了Qg，另一方面在保持Low Qg的同时通过优化器件制造流程使得器件的比导通电阻更小，从而降低了GreenMOSTM的开态电阻。这两方面相辅相成使GreenMOSTM具备了业内领先的FOM值，其优秀的FOM特性使GreenMOSTM的动态损耗可降低到常规超级结器件的2/3，同时也支持2MHz的开关频率。开关速度甚至接近了高端的第三代半导体器件 - 高压GaN功率器件。

图5 GreenMOSTM高达2MHz 高频开关特性.png