原标题：支持FPD的超声波已准备好为空中触觉提供服务

　　在超声换能器成功用于体内成像应用之后，一种新的压电微机械超声换能器 (pMUT) 阵列现在声称可以为大型面板和显示器服务于空中应用，例如触觉。据 imec 称，新的 pMUT 阵列与平板显示器 (FPD) 工艺技术兼容，可用于大面积传感器表面。

　　从基于晶圆到 FPD 兼容工艺的转变为 pMUT 技术做好了准备，可用于振动触觉、飞行时间 3D 传感和手势识别等空中应用，以及智能手机和汽车仪表板等新颖的外形尺寸。换言之，这项新技术可用于在汽车、消费和游戏应用中创建非接触式交互式屏幕。

　　资料来源：IMEC

　　当前的解决方案，大型标准压电元件，会产生相对较高的频率，阻碍与用户的精确交互。因此，基于硅的小型微机械换能器阵列只能在小区域内实现短距离的触觉反馈。

　　另一方面，与 FPD 兼容的薄膜 pMUT 技术本质上与显示器制造技术更兼容。例如，在 2022 年 IEEE 国际超声研讨会上展示的 pMUT 阵列展示了高于 1kPa 的半空中声压，这是与启用半空中触觉和定向声音相关的压力水平。

　　Imec 目前为感兴趣的各方提供其 FPD 技术和原型设计解决方案的晶圆级演示。此外，根据 imec MEMS 超声项目总监 Erwin Hijzen 的说法，该研究机构正在寻找合作伙伴，以在大面积面板和板材上进行批量制造。