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什么是MEMS交换?MEMS加速度计、陀螺仪有何区别?

来源: 21ic
2020-12-24
类别:基础知识
eye 20
文章创建人 拍明

原标题:什么是MEMS交换?MEMS加速度计、陀螺仪有何区别?

  MEMS是目前常提及的技术之一,在往期文章中,小编对MEMS也有所阐述。为增进大家对MEMS的了解,本文将基于两点介绍MEMS:1.MEMS交换介绍,2.MEMS加速度计、MEMS陀螺仪区别介绍。如果你对MEMS相关内容,抑或对本文内容具有兴趣,不妨继续往下阅读哦。

  


  一、MEMS交换

  采用微电子机械技术(MEMS)的光交换。这种光交换的结构实质上是一个二维易镜片阵,当进行光交换时,通过移动光纤末端或改变镜片角度,把光直接送到或反射到交换机的不同输出端。采用微电子机械系统技术可以在极小的晶片上排列大规模机械矩阵,其响应速度和可靠性大大提高。

  这种光交换实现起来比较容易,插入损耗低,串音低,消光比好,偏振和基于波长的损耗也非常低,对不同环境的适应能力良好,功率和控制电压较低,并具有闭锁功能,缺点是交换速度只能达到ms级。

  


  微镜阵列通过静电或磁力控制微小镜元,属于微电机械系统(MEMS)技术。如果这些镜元只能有开关两种状态,微镜阵列被称为二维MEMS,如果镜元能绕两个轴旋转停在多个位置,则称此微镜阵列为三维MEMS。而二维微镜阵列是最为常用的光交换方式。微小镜元置于两根光纤之间,当开关断开时,微小镜元不工作,让光信号从一根光纤传到另一根光纤,当开关闭合时,通过静电场作用,将微小镜元支起,使光信号被反射回去。通过光开关阵列即可实现交换。

  3D MEMS 光交换单元主要由三部分组成:I/O光纤阵列、 MEMS微平面镜阵列及一折叠平面镜。其中,I/O阵列中每根光纤接有一个校准微透镜。 当一束光进入光纤阵列时, 受微透镜校准后照射到 MEMS 微平面镜振列 中的一个平面镜上。该镜受控倾斜,将入射光反射到折叠平面镜上。折叠平面镜反过来又将光反射到MEMS另外一个微平面镜上,由该平面镜将光线反射到合适的输出光纤/透镜上,由此耦合到输出单模光纤输出。

  MEMS技术除了用于光交换外,还可用于DGEF(动态增益均衡滤波器),可变光衰减器,可编程光分插复用模块,动态色散补偿器件等。

  广泛的应用和不断成熟的技术使得MEMS的制作成本有望在不久的将来大幅度降低。这将真正使得原来只能用于骨干通信领域的昂贵的全光交换系统走入高性能计算机系统内部,甚至走入寻常百姓家。

  二、MEMS加速度计和MEMS陀螺仪的区别

  1、MEMS陀螺仪测角速度的

  2、MEMS加速度是测线性加速度的

  MEMS陀螺仪 MEMS陀螺仪利用科里奥利力——旋转物体在有径向运动时所受到的切向力。假设旋转物体有径向速度Vr,那么将会产生切向科里奥利加速度。

  MEMS加速度计在较长时间的测量值是正确的,而在较短时间内由于信号噪声的存在,而有误差。陀螺仪在较短时间内则比较准确而较长时间则会有与漂移而存有误差。因此,需要两者(相互调整)来确保航向的正确。

  现在一般的姿态方面的惯性应用,如IMU(惯性测量单元),由三轴陀螺仪和三轴加速度计组合而成。

  


  详解: MEMS加速度计原理 技术成熟的MEMS加速度计分为三种:压电式、容感式、热感式。

  压电式MEMS加速度计运用的是压电效应,在其内部有一个刚体支撑的质量块,有运动的情况下质量块会产生压力,刚体产生应变,把加速度转变成电信号输出。

  容感式MEMS加速度计内部也存在一个质量块,从单个单元来看,它是标准的平板电容器。加速度的变化带动活动质量块的移动从而改变平板电容两极的间距和正对面积,通过测量电容变化量来计算加速度。


责任编辑:David

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